[发明专利]一种晶圆用托盘的合金抗静电材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201810959831.X | 申请日： | 2018-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN109251507B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 肖坚俊;莫贵锋;张湘孟 | 申请（专利权）人： | 东莞市国亨塑胶科技有限公司 |
| 主分类号： | C08L71/12 | 分类号： | C08L71/12;C08L51/04;C08L53/02;C08L35/06;C08K13/02;C08K3/04 |
| 代理公司： | 深圳华奇信诺专利代理事务所(特殊普通合伙) 44328 | 代理人： | 陈子勋 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆用 托盘 合金 抗静电 材料 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆用托盘的合金抗静电材料，其特征在于：按重量份组成为聚苯醚50份、高抗冲击聚苯乙烯29份、导电炭黑12份、苯乙烯丁二烯苯乙烯嵌段共聚物4份、硅烷偶联剂0.3份、苯乙烯-马来酸酐共聚物1份、润滑剂0.4份、磷酸三苯酯3份、抗氧剂0.3份；抗氧剂包括抗氧剂1010和抗氧剂168，按重量组分为抗氧剂1010：0.1～0.2份，抗氧剂168：0.2～0.4份；所述聚苯醚为浅黄色粉体，粒径50μm，粘度为40cm3/g；
其制备方法如下：
先将聚苯醚20份、苯乙烯-马来酸酐共聚物、导电炭黑、润滑剂、抗氧剂，在高速搅拌机搅拌分散均匀；
再加入聚苯醚30份、高抗冲击聚苯乙烯29份、苯乙烯丁二烯苯乙烯嵌段共聚物4份、磷酸三苯酯3份和硅烷偶联剂0.3份搅拌均匀；
最后通过挤出机挤出造粒；其中，挤出机设定温度：喂料段至机头分别为240℃、240℃、245℃、250℃、255℃、260℃、260℃、260℃、260℃、265℃，螺杆转速350rpm。
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