[发明专利]一种钙铝石型半导体材料的制备方法有效

专利信息
申请号: 201810958973.4 申请日: 2018-08-22
公开(公告)号: CN109208079B 公开(公告)日: 2020-09-22
发明(设计)人: 汤盛文;余文志;周伟;李杨;阿湖宝 申请(专利权)人: 武汉大学
主分类号: C30B29/22 分类号: C30B29/22;C30B33/02;C30B28/04;C30B15/00;C30B13/00
代理公司: 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 代理人: 薛玲
地址: 430072 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 钙铝石型 半导体材料 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种钙铝石型半导体材料的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

(1)将含苯环的有机物A和钙铝石C12A7片状材料一并加入到试管中并密封;

(2)将试管置于真空试管炉中加热到200~300℃,保温0.5~2小时使有机物A挥发形成气氛;

(3)提高试管炉的加热温度至900~1300℃,保持高温处理10~120小时即得到黑色导电C12A7材料。

2.根据权利要求1所述的钙铝石型半导体材料的制备方法,其特征在于:所述C12A7片状材料为单晶或多晶材料。

3.根据权利要求2所述的钙铝石型半导体材料的制备方法,其特征在于:所述多晶C12A7片状材料的制备方法包括如下步骤:

(1)按12:14的化学计量比分别称取四水硝酸钙和九水硝酸铝,并称取上述两种硝酸盐总的化学计量3倍的尿素作为络合剂一起加入烧杯中,加入适量去离子水并搅拌形成透明溶液;

(2)将溶液转移到刚玉坩埚中,溶液量不应超过坩埚体积的1/3,马弗炉加热至500℃后,将坩埚放入其中并煅烧2小时,自然冷却获得多晶C12A7材料;

(3)将多晶C12A7粉末在200MPa压力下制成厚度0.5~0.8mm的压片,得到多晶C12A7压片。

4.根据权利要求2所述的钙铝石型半导体材料的制备方法,其特征在于:所述单晶C12A7片状材料的制备方法包括浮区法和提拉法,所述提拉法包括如下步骤:

(1)以多晶C12A7材料作为原料,在提拉炉内溶解,铂丝作为晶种从溶体中拉出晶体,生长的晶体在30~50小时内逐渐冷却至室温即得到C12A7单晶材料;

(2)用精密切割机将单晶块体切成厚度0.8mm左右的片状,得到单晶C12A7切片。

5.根据权利要求1所述的钙铝石型半导体材料的制备方法,其特征在于:在步骤(1)之前还包括脱脂、脱羟基处理,过程如下:

将C12A7多晶压片或者单晶C12A7切片放入带塞的石英试管中,然后将试管置于高温炉中并升温至1100℃恒温15小时,经自然冷却得到脱脂、脱羟基的C12A7材料。

6.根据权利要求1所述的钙铝石型半导体材料的制备方法,其特征在于:绝缘的钙铝石材料C12A7中Ca和Al可以被Fe、Mg或稀土金属元素部分取代,取代率为0~5%摩尔;材料中阴离子O2-可以被H-、O-、OH-或卤素离子取代。

7.根据权利要求1所述的钙铝石型半导体材料的制备方法,其特征在于:试管中加入的含苯环的有机物A和绝缘的钙铝石型材料C12A7的质量比为10:1~1:50。

8.根据权利要求1所述的钙铝石型半导体材料的制备方法,其特征在于:所述的试管为带塞的石英试管、刚玉试管或陶瓷试管。

9.根据权利要求1所述的钙铝石型半导体材料的制备方法,其特征在于:所述的含苯环的有机物A是氯苯、邻二氯苯、溴代苯、苯甲酸、邻苯二甲酸、苯甲醛、苯甲腈、苯甲醚、苯磺酸、苯乙酮、苯乙酰胺、苯甲酸甲酯、苯酚、苯乙烯、苯胺、对苯二胺中的一种或多种的混合物。

10.根据权利要求1所述的钙铝石型半导体材料的制备方法,其特征在于:所述的含苯环的有机物A的纯度不低于工业级。

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