[发明专利]一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置有效
申请号: | 201810957703.1 | 申请日: | 2018-08-22 |
公开(公告)号: | CN110144565B | 公开(公告)日: | 2022-01-18 |
发明(设计)人: | 张传伟;古乐;解志杰;王黎钦;郑德志;赵小力;李东升 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | C23C14/48 | 分类号: | C23C14/48;C23C14/50;C23C14/35 |
代理公司: | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人: | 陈新胜 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 批量 制备 精密 球形 滚动 体表 涂层 方法 装置 | ||
1.一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的装置,其特征在于,所述批量制备精密球形滚动体表面涂层的装置包括驱动齿轮(9)和多组夹具,每组夹具包括精密球形滚动体(1)、固定底座(2)、旋转底座(3)、挡圈(4)、从动齿轮(5)、旋转套筒(6)、轴承(7)和固定轴(8),每组夹具通过从动齿轮(5)与驱动齿轮(9)相啮合,待制备的精密球形滚动体(1)放置于固定底座(2)的锥面与旋转底座(3)内圈表面之间,精密球形滚动体(1)跟随旋转底座(3)转动,固定底座(2)为一带有锥面的圆台,固定底座(2)通过螺母固定在固定轴(8)上,旋转底座(3)的内外圈均为圆柱面,旋转底座(3)的内圈表面带有一定的波纹度,旋转底座(3)通过螺栓与旋转套筒(6)相连且随旋转套筒(6)转动,从动齿轮(5)通过键连接与旋转套筒(6)相连且通过挡圈(4)轴上固定,从动齿轮(5)带动旋转套筒(6)与旋转底座(3)转动;
将多个待制备精密球形滚动体(1)放置在旋转底座(3)的波纹面与固定底座(2)的锥面之间,通过驱动齿轮(9)带动每组夹具的从动齿轮(5)转动,从动齿轮(5)带动旋转套筒(6)及旋转底座(3)进行转动,从而带动精密球形滚动体(1)进行均匀连续转动,在滚动体转动的过程中,对滚动体进行离子注入,形成沉积改性涂层;其中旋转底座(3)的波纹面可以保证球始终存在水平方向的转动,避免球在两个面间不转或卡死,导致制备的涂层不均、或球不必要的磨损,固定底座(2)的锥面可以防止球在径向的窜动,使球更好地与旋转底座(3)波纹面贴合,轴承(7)使驱动套筒相对固定轴(8)转动,并承受轴向载荷,固定轴(8)对固定底座(2)进行固定。
2.根据权利要求1所述的一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的装置,其特征在于,所述旋转底座(3)的波纹面与固定底座(2)的锥面之间可放置多个待制备的精密球形滚动体(1)。
3.一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法,其特征在于,所述批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法的具体步骤为:
步骤一:将多组夹具对称放置在驱动齿轮(9)圆周方向上,使驱动齿轮(9)与从动齿轮(5)啮合;
步骤二:将多个待处理的精密球形滚动体(1)对称放置在固定底座(2)的锥面与旋转底座(3)的波纹面之间;
步骤三:旋转驱动齿轮(9)匀速转动,带动圆周方向的各个从动齿轮(5)匀速转动,从动齿轮(5)带动旋转底座(3)匀速转动,使精密球形滚动体(1)在固定底座(2)与旋转底座(3)之间均匀转动,精密球形滚动体( 1 ) 分别相对旋转底座(3)的波纹面与固定底座(2)的锥面滚动,通过这两个方向的运动可以保证精密球形滚动体(1)的均匀转动,从而保证制备沉积改性涂层的均匀;
步骤四:在精密球形滚动体(1)均匀转动时,使用表面离子注入沉积法在精密球形滚动体(1)表面制备厚度均匀的改性涂层,直至达到要求的溅射时间。
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