[发明专利]一种刷洗装置及清洗设备

说明书

本发明提供一种刷洗装置，包括机体以及横向设置且贯穿机体内外的驱动轴；驱动轴上设置有毛刷，机体上设置有用于对驱动轴与机体的连接处进行密封的密封机构；其中，密封机构包括套设在驱动轴上的密封件，密封件一端与机体侧壁贴合密封连接；驱动轴上套设有由硬性材料制成的第一密封圈、以及由软性材料制成的第二密封圈，第一密封圈和第二密封圈均与密封件内壁触接。通过硬性的第一密封圈与软性的第二密封圈结合，共同作用在驱动轴上，起到双重防护密封作用，同时利用软性的第二密封圈增强与密封件内侧以及驱动轴外侧的连接紧密性，阻挡高温高压蒸汽及药液沿驱动轴前进，从而防止机体内的药液和蒸汽泄露。

技术领域

本发明涉及基板清洗领域，尤其涉及一种刷洗装置及清洗设备。

背景技术

在液晶面板的制备过程中，需要使用清洗设备对基板进行清洗。现有的清洗设备中，一般会带有刷洗装置，以用于基板正背面的清洗，其原理是利用毛刷的转动，绒毛尖端与基板表面接触，从而扰动、刷洗掉基板表面异物。

清洗设备内因多用到各类化学药液，而且处于高温高压等复杂清洗环境，因此，密封避免漏液是清洗设备最基本的能力要求。但在刷洗装置中，为了保持毛刷的驱动部干燥，驱动轴会延伸到腔室外，现有的刷洗装置中，驱动轴与腔室机体的连接处一般采用轴承和带双沟槽的硬性密封件进行密封。

而采用硬性结构设计对驱动轴和腔室机体的连接处进行密封，对高温高压的药液蒸汽密封性差，容易导致药液蒸汽泄露。

发明内容

本发明提供一种刷洗装置，以解决现有的密封机构密封性较差，导致药液蒸汽容易泄露的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

一种刷洗装置，包括：

机体；

横向设置且贯穿机体内外的驱动轴；

设置在驱动轴上的毛刷；

设置在机体上以用于对驱动轴与机体的连接处进行密封的密封机构；

其中，所述密封机构包括套设在驱动轴上的密封件，所述密封件一端与机体的侧壁贴合密封并连接；所述驱动轴上套设有由硬性材料制成的第一密封圈以及由软性材料制成的第二密封圈，所述第一密封圈和第二密封圈均与密封件的内壁触接。

优选的，所述第一密封圈上设置有连接部，所述第二密封圈上设置有套接在连接部上的套接部，所述套接部的外侧与密封件的内壁触接。

优选的，所述密封件包括基座和密封外环，所述驱动轴依次穿过基座和密封外环，所述基座固定在机体上；所述密封外环与基座之间设置有密封膜，所述密封膜一端与基座固定连接，另一端与密封外环固定连接。

优选的，所述第一密封圈和第二密封圈均设置在密封外环的内侧。

优选的，所述密封外环上设置有减震支架，所述减震支架的一端与密封外环的外侧固定连接，另一端与基座固定连接。

优选的，所述减震支架通过螺丝与基座固定连接。

优选的，所述密封膜由软性防腐材料制成。

优选的，所述基座上固定设置有防护外壳，所述密封膜位于防护外壳的内侧。

优选的，所述密封机构位于机体的内侧。

本发明还提供一种清洗设备，包括喷淋装置、干燥装置以及上述的刷洗装置；其中，所述喷淋装置设置在驱动轴上方，以用于对基板进行喷淋清洗；所述干燥装置用于对清洗后的基板进行干燥。