[发明专利]与靶材配合使用的环件肩部滚花的加工工艺

说明书

本发明提供了一种与靶材配合使用的环件肩部滚花的加工工艺，涉及半导体的技术领域，包括肩部车削：通过R角成型刀直接车削环件的内圈与端面直角处以及外圈与端面直角处，形成内圈R角、外圈R角以及内外圈衔接端面；肩部滚花：通过R角滚花刀将内圈R角、外圈R角以及内外圈衔接端面进行滚花。本发明提供一种与靶材配合使用的环件肩部滚花的加工工艺，能够精密设计R角尺寸，通过数据管控滚花位置，保证花纹衔接完美且无乱花碎花等问题，增加产品附着面积，延长产品使用寿命。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种与靶材配合使用的环件肩部滚花的加工工艺。

背景技术

在半导体PVD镀膜生产过程中，为了提高薄膜的均匀性，通常会使用一些环件产品配合靶材一起使用，比如在我们PVD镀钽薄膜时候，会使用钽环配合钽靶材一起使用，钽环件在加工过程中，通体表面需要进行滚花来增加表面粗糙度，肩部滚花也是环件滚花过程中的一个环节。

现有工艺肩部R角尺寸偏大，成品呈半圆弧状，因为圆弧大，所以要多次衔接才能完成整体肩部滚花，花纹多次衔接后容易出现乱花碎花等问题，从而导致花纹衔接不良，在镀膜过程中，容易引起各种溅射异常(表皮脱落，尖端放电，金字塔脱落等)直接影响使用寿命。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本发明的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

发明内容

本发明的目的在于提供一种与靶材配合使用的环件肩部滚花的加工工艺，能够精密设计R角尺寸，通过数据管控滚花位置，保证花纹衔接完美且无乱花碎花等问题，增加产品附着面积，延长产品使用寿命。

为实现上述目的，本发明提供以下技术方案：

本发明提供一种与靶材配合使用的环件肩部滚花的加工工艺，包括：

肩部车削：所述环件肩部车削成梯形，通过R角成型刀直接车削环件的内圈与端面直角处以及外圈与端面直角处，形成内圈R角、外圈R角以及内外圈衔接端面；

肩部滚花：通过R角滚花刀将所述内圈R角、所述外圈R角以及所述内外圈衔接端面进行滚花，以使所述内圈R角上的花纹、所述外圈R角上的花纹和所述内外圈衔接端面上的花纹相衔接；所述R角滚花刀变换多种角度，所述R角滚花刀与所述环件所在平面呈角度为45°、90°、-45°。

进一步地，所述肩部车削包括：

将所述环件夹持在旋转中的车床主轴上。

进一步地，所述环件肩部车削成梯形。

进一步地，所述环件肩部R角尺寸为0.7±0.25mm。

进一步地，所述环件肩部R角尺寸为1.0±0.25mm。

进一步地，所述肩部滚花包括：

通过R角滚花刀将所述内圈R角、外圈R角以及内外圈衔接端面滚压出直纹或者网纹。

进一步地，所述肩部滚花还包括：

所述R角滚花刀变换多种角度。

进一步地，所述R角滚花刀与所述环件所在平面呈角度为45°、90°、-45°。

进一步地，所述环件肩部R角一颗花纹的滚花参数包括：所述R角滚花刀转数为30r/min，下压量0.4-0.5mm。

进一步地，所述环件肩部R角一颗花纹的滚花参数还包括：所述R角滚花刀转动圈数为4-6圈。

本发明提供的与靶材配合使用的环件肩部滚花的加工工艺具有以下有益效果：

本发明提供一种与靶材配合使用的环件肩部滚花的加工工艺，包括：