[发明专利]一种石英玻璃中羟基含量的无损检测方法

权利要求书

1.一种石英玻璃中羟基含量的无损检测方法，其特征在于，包括：

获取石英玻璃中羟基在1.38μm、2.22μm和/或2.73μm处的消光系数ε_1.38μm、ε_2.22μm和/或ε_2.73μm；

根据第一公式，计算，得到待测石英玻璃中的羟基含量，

其中，所述的第一公式为，

式中，

C为待测石英玻璃的羟基含量，

ε为石英玻璃中羟基在1.38μm、2.22μm、2.73μm处的消光系数ε_1.38μm、ε_2.22μm、ε_2.73μm，

d为待测石英玻璃的厚度，

M为羟基的摩尔质量，

ρ为石英玻璃的密度，

T₀为待测石英玻璃中羟基在1.38μm、2.22μm、2.73μm处的基线光谱透过率T_0,1.38μm、T_0,2.22μm、T_0,2.73μm，

T为待测石英玻璃中羟基在1.38μm、2.22μm、2.73μm处的吸收峰光谱透过率T_1.38μm、T_2.22μm、T_2.73μm；其中，

所述基线光谱透过率、吸收峰光谱透过率按照以下步骤确定：

获取待测石英玻璃的光谱透过率曲线，

选择吸收峰峰位2.73μm、2.22μm和1.38μm中T大于或等于1％，且，T₀-T大于或等于1％的峰位作为计算峰位；

ε_1.38μm的获取方法包括，

获取石英玻璃中羟基在2.73μm处的消光系数ε_2.73μm；

根据第二公式，计算，得到石英玻璃中羟基在1.38μm处的消光系数ε_1.38μm，

其中，所述第二公式为，

式中，

T＇_0,2.73μm为石英玻璃中羟基在2.73μm处的基线光谱透过率，

T＇_2.73μm为石英玻璃中羟基在2.73μm处的吸收峰光谱透过率，

T＇_0,1.38μm为石英玻璃中羟基在1.38μm处的基线光谱透过率，

T＇_1.38μm为石英玻璃中羟基在1.38μm处的吸收峰光谱透过率；

ε_2.22μm的获取方法包括，

获取石英玻璃中羟基在2.73μm处的消光系数ε_2.73μm；

根据第三公式，计算，得到石英玻璃中羟基在2.22μm处的消光系数ε_2.22μm，

其中，所述第三公式为，

式中，

T＇_0,2.73μm为石英玻璃中羟基在2.73μm处的基线光谱透过率，

T＇_2.73μm为石英玻璃中羟基在2.73μm处的吸收峰光谱透过率，

T＇_0,2.22μm为石英玻璃中羟基在2.22μm处的基线光谱透过率，

T＇_2.22μm为石英玻璃中羟基在2.22μm处的吸收峰光谱透过率。