[发明专利]一种石英玻璃羟基含量面分布的检测设备和检测方法

权利要求书

1.一种石英玻璃羟基含量面分布的检测方法，其特征在于：包括，

将待测石英玻璃固定于样品支撑架上，

在移动装置的控制单元设定运动路径，并形成运动路径指令，

移动装置的执行单元执行所述的运动路径指令，带动所述样品支撑架沿所述运动路径运动，样品支撑架带动所述待测石英玻璃运动，样品支撑架运动和待测石英玻璃运动均在遮光罩内完成，

获取运动路径中所述待测石英玻璃中羟基在1.38μm、2.22μm或2.73μm处基线光谱透过率和吸收峰光谱透过率，

获取石英玻璃中羟基在1.38μm、2.22μm或2.73μm处的消光系数，

计算，得到待测石英玻璃不同位置的羟基含量，

统计，得到所述待测石英玻璃羟基含量的面分布；

其中，根据第一公式，计算，得到待测石英玻璃中的羟基含量，

其中，所述的第一公式为，

式中，

C为待测石英玻璃的羟基含量，

ε为石英玻璃中羟基在1.38μm、2.22μm、2.73μm处的消光系数ε_1.38μm、ε_2.22μm、ε_2.73μm，

d为待测石英玻璃的厚度，

M为羟基的摩尔质量，

ρ为石英玻璃的密度，

T₀为待测石英玻璃中羟基在1.38μm、2.22μm、2.73μm处的基线光谱透过率T_0,1.38μm、T_0,2.22μm、T_0,2.73μm，

T为待测石英玻璃中羟基在1.38μm、2.22μm、2.73μm处的吸收峰光谱透过率T_1.38μm、T_2.22μm、T_2.73μm；

ε_1.38μm的获取方法包括，

获取石英玻璃中羟基在2.73μm处的消光系数ε_2.73μm；

根据第二公式，计算，得到石英玻璃中羟基在1.38μm处的消光系数ε_1.38μm，

其中，所述第二公式为，

式中，

T＇_0,2.73μm为石英玻璃中羟基在2.73μm处的基线光谱透过率，

T＇_2.73μm为石英玻璃中羟基在2.73μm处的吸收峰光谱透过率，

T＇_0,1.38μm为石英玻璃中羟基在1.38μm处的基线光谱透过率，

T＇_1.38μm为石英玻璃中羟基在1.38μm处的吸收峰光谱透过率；

ε_2.22μm的获取方法包括，

获取石英玻璃中羟基在2.73μm处的消光系数ε_2.73μm；

根据第三公式，计算，得到石英玻璃中羟基在2.22μm处的消光系数ε_2.22μm，

其中，所述第三公式为，

式中，

T＇_0,2.73μm为石英玻璃中羟基在2.73μm处的基线光谱透过率，

T＇_2.73μm为石英玻璃中羟基在2.73μm处的吸收峰光谱透过率，

T＇_0,2.22μm为石英玻璃中羟基在2.22μm处的基线光谱透过率，

T＇_2.22μm为石英玻璃中羟基在2.22μm处的吸收峰光谱透过率。

2.根据权利要求1所述的一种石英玻璃羟基含量面分布的检测方法，其特征在于：

根据第一公式，计算，得到待测石英玻璃中的羟基含量，包括：

获取待测石英玻璃的光谱透过率曲线，选择吸收峰峰位2.73μm、2.22μm和1.38μm中T大于或等于1％，且，T₀-T大于或等于1％的峰位作为计算峰位，将所述计算峰位的基线光谱透过率、吸收峰光谱透过率、样品厚度和消光系数代入所述的第一公式，计算，得到待测石英玻璃中的羟基含量。