[发明专利]压印设备在审
申请号: | 201810940325.6 | 申请日: | 2018-08-17 |
公开(公告)号: | CN109597277A | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | 刘灏;金炳相;金正旭;朴景彬;孙沂周;黄恩秀 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 赵南;张青 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压力辊 支撑 压印设备 可移动 第二端部 第一端部 负载施加 接触压力 可旋转的 可旋转 挤压 | ||
一种压印设备包括:第一框架;压力辊,其可旋转地支撑在所述第一框架的第一端部;第二框架,其包括耦接到所述第一框架的第二端部的支撑部分、以及耦接到所述支撑部分以横向地可移动的至少一个引导部分;以及至少一个负载辊,其由所述至少一个引导部分支撑,所述至少一个负载辊在可旋转的同时在垂直方向上可移动,并且根据所述至少一个引导部分的横向移动而在压力辊的上部接触压力辊的表面,所述至少一个负载辊通过由所述至少一个负载辊的负载施加的力挤压所述压力辊。
相关申请的交叉引用
2017年10月2日在韩国知识产权局提交的题为“压印设备”的韩国专利申请第10-2017-0128512号通过引用全部结合于此。
技术领域
本公开涉及一种压印设备。
背景技术
随着显示装置的尺寸增加,对于基板上的大面积精细图案来说具有均匀的质量已变得重要。在形成这种大面积精细图案的工艺中使用纳米压印光刻法。在纳米压印光刻法中,在将光固化树脂涂覆在基板上之后,将紫外光照射到其上,同时将具有与精细图案对应的凹凸图案的印模压到光固化树脂上以使光固化树脂固化。然后,印模与其分离以形成精细图案。
发明内容
根据本公开的一个方面,压印设备包括:第一框架;压力辊,其可旋转地支撑在所述第一框架的第一端部;第二框架,其包括耦接到所述第一框架的第二端部的支撑部分、以及耦接到所述支撑部分以横向地可移动的至少一个引导部分;以及至少一个负载辊,其由所述至少一个引导部分支撑,所述至少一个负载辊在可旋转的同时在垂直方向上可移动,并且根据所述至少一个引导部分的横向移动而在压力辊的上部接触压力辊的表面,所述至少一个负载辊通过由所述至少一个负载辊的负载施加的力挤压所述压力辊。
根据本公开的一个方面,一种压印设备包括:第一框架,其设置在压印模具上方,所述第一框架沿所述压印模具在单个方向上可移动;压力辊,其可旋转地支撑在所述第一框架上以在所述第一框架移动时挤压所述压印模具;第二框架,其耦接到所述第一框架,所述第二框架横向地可移动;以及至少一个负载辊,其由所述第二框架可旋转地支撑,同时在所述压力辊的上部与所述压力辊接触,以通过由所述至少一个负载辊的负载施加的力来挤压所述压力辊,所述至少一个负载辊具有中心轴,所述中心轴设置为在与所述单个方向垂直的方向上偏离所述压力辊的中心轴,并且根据所述第二框架的横向移动而在与所述压力辊的表面接触的同时移动。
根据本公开的一个方面,压印设备包括:第一框架,其设置在压印模具上方,所述第一框架沿所述压印模具在单个方向上可移动;压力辊,其可旋转地支撑在所述第一框架上以在所述第一框架移动时挤压所述压印模具;第二框架,其包括耦接到所述第一框架的支撑部分以及耦接到所述支撑部分的至少一个引导部分,所述至少一个引导部分在所述支撑部分上沿所述单个方向横向地可移动;驱动单元,其设置在所述支撑部分上以在所述单个方向上横向地移动所述引导部分;控制器,用于控制所述驱动单元;以及至少一个负载辊,其可旋转地支撑在所述引导部分上,同时在所述压力辊的上部接触所述压力辊以通过由所述至少一个负载辊的负载施加的力来挤压所述压力辊,当所述引导部分响应于所述控制器的驱动信号而横向移动时,所述至少一个负载辊改变由所述压力辊施加到所述压印模具的压力,同时沿所述压力辊的表面移动。
附图说明
通过参考附图详细描述示例实施例,特征对于本领域的普通技术人员将变得显而易见,其中:
图1示出根据本公开的示例实施例的压印设备的示意性截面图;
图2示出在‘I'方向观看时图1的压印设备的平面图;
图3示出由图1的压印设备的负载辊进行的可变挤压工艺的视图;
图4示出图3的负载辊的可变宽度的视图;
图5示出图1的压印设备的挤压力的视图;
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