[发明专利]一种倒片机硅片防撞装置在审
| 申请号： | 201810936825.2 | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN108766920A | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 李雪锋;吴建忠;何海斌;肖兵;唐幽 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（成都）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 杨保刚;邓芸 |
| 地址： | 610299 四川省成都市双流*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 篮具 竖直固定 倒片机 水平固定块 防撞装置 防撞块 防撞 气缸 软性缓冲材料 伸缩杆末端 硅片输送 后端内壁 互相垂直 矩形通孔 生产设备 伸缩杆 动能 崩边 缺角 隐裂 供气 穿过 制作 | ||
1.一种倒片机硅片防撞装置，包括放置有篮具(9)的机架(12)，其特征在于：篮具(9)一侧的机架(12)上安装有L形的防撞基座(5)，防撞基座(5)包括互相垂直连接的水平固定块(5.2)与竖直固定块(5.1)，水平固定块(5.2)安装在机架(12)上，竖直固定块(5.1)上部设置有气缸(8)，竖直固定块(5.1)上开设有供气缸(8)的伸缩杆穿过的矩形通孔(1)，气缸(8)的伸缩杆末端连接有可伸入伸出篮具(9)的防撞块(4)，防撞块(4)采用软性缓冲材料制作。
2.根据权利要求1所述的倒片机硅片防撞装置，其特征在于：水平固定块(5.2)上表面与竖直固定块(5.1)连接处设置有三角形的加固块(6)。
3.根据权利要求1所述的倒片机硅片防撞装置，其特征在于：水平固定块(5.2)通过螺栓与机架(12)连接，水平固定块(5.2)上开设有与螺栓配合的两个并列的腰形孔a(7)，腰形孔的长度方向为篮具(9)到竖直固定块(5.1)的方向。
4.根据权利要求1所述的倒片机硅片防撞装置，其特征在于：竖直固定块(5.1)通过螺栓与气缸(8)连接，竖直固定块(5.1)上在矩形通孔(1)两侧开设有与螺栓配合的两个并列的腰形孔b(2)，腰形孔b(2)的长度方向为竖直方向。
5.根据权利要求1所述的倒片机硅片防撞装置，其特征在于：防撞块(4)与篮具(9)对应的一侧表面为斜面(3)，斜面(3)的倾斜方向为由篮具(9)到防撞块(4)方向斜向上。
6.根据权利要求1所述的倒片机硅片防撞装置，其特征在于：气缸(8)的伸缩杆与防撞块(4)之间通过螺纹连接，防撞块(4)与气缸(8)缸体之间的伸缩杆上还旋有螺母，防撞块(4)与螺母紧密贴合。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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