[发明专利]一种织构化Ta/Ag宽温区自润滑涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种织构化Ta/Ag宽温区自润滑涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）、基材的预处理：利用砂纸打磨去除表面锈层和氧化层，抛光成镜面，清洗并烘干，得到预处理的基材；步骤1）中所述基材为45钢；步骤1）中利用砂纸打磨去除表面锈层和氧化层为利用180#、400 #、600 #和800#砂纸逐级打磨去除表面锈层和氧化层；

2）、溅射沉积Ta过渡层：采用第一直流磁控溅射方法，在步骤1）得到的预处理的基材表面溅射一层Ta作为过渡层；步骤2）中第一直流磁控溅射方法采用以下工艺参数：背底真空度低于5.5×10^-3Pa，靶基距为60mm，工作气压为0.1-0.4Pa，氩气流量为40-60sccm，溅射功率为40-70W，溅射时间为1-2h；步骤2）中Ta过渡层的厚度为500nm-2μm；

3）、表面织构化处理：用Nd:YAG脉冲激光器对步骤2） 中的Ta过渡层刻蚀微孔，得到织构化的Ta过渡层；步骤3）中Nd:YAG脉冲激光器的波长为1064nm，脉冲能量为30μJ/脉冲，脉冲宽度为450ns～500ns，频率范围为1～100Hz；步骤3）中微孔直径为200um，所述微孔以等边三角形排列；步骤3）中织构密度为2-8%；

4）、溅射沉积Ag润滑相：采用第二直流磁控溅射方法，在步骤3）得到的织构化的Ta过渡层表面溅射Ag作为润滑剂，得到织构化Ta/Ag宽温区自润滑涂层；

步骤4）中第二直流磁控溅射方法采用以下工艺参数：背底真空度低于5.5×10^-3Pa，靶基距为60mm，工作气压为0.1-0.4Pa，氩气流量为40-60sccm，溅射功率为50-70W，溅射时间为30-60min；步骤4）中Ag润滑层的厚度为10μm。