[发明专利]可回火三层防反射涂层、包括可回火三层防反射涂层的涂层制品和/或制作其的方法

说明书

涂层制品包括可回火防反射(AR)涂层，该涂层利用在AR涂层中具有残余压应力的中间折射率和低折射率(折射率“n”)层。在某些示例性实施例中，涂层从玻璃基板向外可包括以下层：氧氮化硅(SiO_xN_y)中间折射率层/高折射率层/低折射率层。在某些示例性实施例中，根据高折射率层和基板的化学和光学性质，AR涂层的中间折射率层和低折射率层被选出以造成净的残余压应力，从而在涂层制品被回火和/或加热处理时优化防反射涂层的整体性能。

相关申请的交叉引用

本专利申请为美国专利申请序列第12/923146号的部分后续(CIP)，在此通过引用将其全部内容纳入。

发明领域

本发明的某些示例性实施例涉及一种包括可回火防反射涂层的涂层制品，和/或制作其的方法。在某些示例性实施例中，可回火防反射(AR)涂层利用SiOxNy作为涂层的中间折射率层。在某些示例性实施例中，涂层从玻璃基板向外可包括以下层：作为中间折射率层的氧氮化硅(如SiOxNy)中间折射率层/作为高折射率层的钛氧化物(如TiOx)/作为低折射率层的氧化硅(如SiOx)。在某些示例性实施例中，在每一层中的应力的厚度和/或类型可以被优化以产生可回火三层防反射涂层。

发明背景及示例性实施例综述

在本技术领域中，防反射(AR)涂层为人熟知。例如，可见范围内的AR涂层被广泛应用在电子、照明、电气用具、建筑学和显示应用中的玻璃上。各种技术都可用于减少来自空气的可见光照向或穿过玻璃表面的反射。一种将薄材料层应用在玻璃基板表面的技术将薄层插入玻璃基板和空气之间。最佳情况下，薄层的折射率等于可见光通过空气的折射率和可见光通过玻璃基板的折射率的平方根。然而实现这一最佳折射率很难。

此外，在许多这类应用程序中，玻璃的回火或热强化可能是必需的。玻璃的回火或热强化有时在AR涂层沉积之前进行，以避免为了回火和其他高温处理形式而将涂层暴露在高温下导致的涂层不可取的光学、机械或美学质量变化。然而，该“先回火后涂覆”的方法在某些情况下可能也是不可取的。

此外，先涂覆后回火的技术可能会造成额外的问题。当玻璃被涂覆然后回火的时候，回火过程可能会导致整个玻璃产品的不良光学瑕疵。例如色移，或ΔE，玻璃涂层产品在回火过程中可能导致玻璃着色而无法使用。此外，在回火前和回火后之间保持带有AR涂层的基板的光学特性是可取的(例如AR涂层可被应用于不止一个情况下)。

因此，应当认识到，本技术中需要改进涂层制品如窗户和类似物品的防反射(AR)涂层(例如可回火AR涂层)。

在某些示例性实施例中，提供了一种涂层制品，其包括由基板主表面支承的防反射涂层，基板与防反射涂层一同通过热处理，所述防反射涂层按从基板移离的次序包括：中间折射率层，其包括氮氧化硅并在380nm、550nm和780nm波长处具有约1.65至2.0的折射率，高折射率层，其在380nm、550nm和780nm波长处具有至少约2.0的折射率，和低折射率层，其在380nm、550nm和780nm波长处具有约1.4至1.6的折射率，所述中间折射率层在高温处理后具有残余压应力。

在某些示例性实施例中，提供了一种可热处理的涂层制品，所述涂层制品包括：由基板主表面支承的防反射涂层，所述防反射涂层按从基板移离的次序包括：含氮氧化硅的中间折射率层，其在380nm、550nm和780nm波长处具有约1.65至2.0的折射率，高折射率层，其在380nm、550nm和780nm波长处具有比中间折射率层高的折射率，和低折射率层，其在380nm、550nm和780nm波长处具有比中间折射率层低的折射率，其中中间折射率层和低折射率层在任何高温处理后都具有残余压应力，高折射率层在任何高温处理后都具有残余拉应力，且防反射涂层具有净残余压应力。