[发明专利]基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达有效
| 申请号： | 201810927949.4 | 申请日： | 2018-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN108983197B | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 张石;李亚锋;鲁佶 | 申请（专利权）人： | 深圳煜炜光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G01S7/481 | 分类号： | G01S7/481 |
| 代理公司： | 44372 深圳市六加知识产权代理有限公司 | 代理人： | 向彬 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区桃源*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光雷达 微镜单元 准直光学元件 发射激光器 三维扫描 探测激光 探测目标 探测器 激光雷达技术 远距离探测 尺寸光斑 二维阵列 三维方向 信号接收 信号通过 二维 反射 替换 发射 应用 | ||
1.一种基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达，其特征在于：包括发射激光器、准直光学元件、MEMS微镜阵列及探测器；
所述发射激光器发出的探测激光信号通过所述准直光学元件准直至所述MEMS微镜阵列，经所述MEMS微镜阵列发射至探测目标；
探测目标反射的探测激光信号接收至所述探测器；
所述MEMS微镜阵列包括多个小微镜单元，多个小微镜单元呈二维阵列布置，所有小微镜单元均可在三维方向旋转，每个小微镜单元可以独立控制通过不同的电机完成每个小微镜单元的独立控制,不同的小微镜单元可以设置成不同步扫描，每个小微镜单元均可以实现大角度旋转。
2.根据权利要求1所述的基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达，其特征在于：所述发射激光器为半导体激光器、光纤激光器或固体激光器。
3.根据权利要求2所述的基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达，其特征在于：还包括多个静电驱动式或加热驱动式微电机，通过静电驱动式或加热驱动式微电机驱动对应的小微镜单元在三维方向旋转。
4.根据权利要求3所述的基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达，其特征在于：所述发射激光器替换为发射激光器阵列。
5.根据权利要求1所述的基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达，其特征在于：所述探测器为单点探测器或二维阵列探测器。
6.根据权利要求5所述的基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达，其特征在于：探测目标反射的探测激光信号通过接收透镜接收至所述探测器，所述接收透镜为非球面透镜。
7.根据权利要求1-6任一项权利要求所述的基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达，其特征在于：所述准直光学元件为非球面透镜。
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