[发明专利]一种高产能的芯片烧录机在审
| 申请号: | 201810919737.1 | 申请日: | 2018-08-14 |
| 公开(公告)号: | CN108878330A | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
| 发明(设计)人: | 陈志冰;孙佳威;傅东文 | 申请(专利权)人: | 广州晶睿达科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
| 地址: | 510700 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 吸附 丝杠步进电机 激光刻蚀装置 芯片定位装置 芯片检验装置 驱动机构 芯片读写 芯片烧录 芯片 高产 活动轴连接 采集芯片 出料机构 定位装置 横向并列 进料机构 驱动连接 视觉系统 往返运动 坐标数据 搬运臂 轴做 驱动 | ||
1.一种高产能的芯片烧录机,其特征在于,包括:
机架,其机架内依次地、横向并列设置有进料机构、一芯片定位装置、芯片读写装置、芯片激光刻蚀装置、芯片检验装置、另一芯片定位装置和出料机构;所述机架设置有一视觉系统,其用于采集芯片定位装置、芯片读写装置、芯片激光刻蚀装置和芯片检验装置的坐标数据;
进料机构以及出料机构,其分别用于芯片的自动化进料和出料;
芯片定位装置,其包括定位基座和夹具工装;所述基座设置有至少一匹配所述夹具工装的中空轴,该中空轴用于吸附芯片;所述夹具工装夹持芯片,进而校准定位芯片;
芯片读写装置,其顶部设置有若干用于芯片数据刻录的烧录座;
芯片激光刻蚀装置,其包括激光基座以及设置在激光基座上的用于芯片刻蚀打码的激光模块;所述激光基座上设置有与芯片定位装置的夹具工装,该夹具工装用于夹持芯片便于进行刻蚀打码;
芯片校验装置,其包括校验基座以及设置校验基座上的用于检测芯片的OCR校验系统;所述校验基座上设置有放置芯片的定位槽;所述芯片校验装置的底部有与视觉系统连接横向移动机构,其用于补偿芯片校验装置的距离误差;
搬运臂组,其包括驱动机构、若干丝杠步进电机和吸附轴;所述吸附轴用于吸附芯片,且吸附轴与丝杠步进电机的活动轴连接,丝杠步进电机驱动吸附轴做上下往返运动;所述驱动机构与丝杠步进电机驱动连接;所述搬运臂组包括:
进料搬运臂组,其用于进料机构和芯片定位装置两者之间的芯片搬运;
出料搬运臂组,其用于另一芯片定位装置和出料机构两者之间的芯片搬运;
功能搬运臂组,其包括四个丝杠步进电机,功能搬运臂组的驱动机构同步驱动四个丝杠步进电机在一芯片定位装置、芯片读写装置、芯片激光刻蚀装置、芯片校验装置和另一芯片定位装置之间作往返移动。
2.根据权利要求1所述的高产能的芯片烧录机,其特征在于:
所述视觉系统采集芯片定位装置、芯片读写装置、芯片激光刻蚀装置和芯片检验装置的X轴坐标数据;视觉系统并采集功能搬运臂组从芯片定位装置运动至芯片读写装置的的X轴运动数据;
所述视觉系统结合X轴运动数据和X轴坐标数据生成芯片校验装置的X轴补偿距离;横向移动机构根据X轴补偿距离进行驱动芯片校验装置。
3.根据权利要求1所述的高产能的芯片烧录机,其特征在于:
所述夹具工装包括可活动的、设置在所述定位基座顶部的第一夹臂和第二夹臂;所述第一夹臂和第二夹臂两者相对的立面上分别设置有定位槽;
初始时,搬运臂组将芯片从进料机构中运输至芯片定位装置的两个定位槽之间,进而中空轴吸附芯片;所述第一夹臂和第二夹臂两者相对地运动,使两个定位槽同时夹持芯片,带动芯片旋转定位。
4.根据权利要求3所述的高产能的芯片烧录机,其特征在于:
所述芯片定位装置的定位槽为开设在立面上的一直角状的切槽。
5.根据权利要求4所述的高产能的芯片烧录机,其特征在于,所述夹具工装还包括驱动机构,其包括:
第一推杆,其顶端连接第一夹臂,第一推杆的末端悬空设置;
第二推杆,其顶端连接第二夹臂,第二推杆的末端悬空设置;
气缸,其设置在定位基座上;所述气缸的活动轴连接有一顶推件,该顶推件置于第一推杆和第二推杆之间;
其中,气缸的运动带动所述顶推件、同时抵顶第一推杆和第二推杆,使第一推杆和第二推杆之间相对运动,进而第一夹臂和第二夹臂张开。
6.根据权利要求5所述的高产能的芯片烧录机,其特征在于:
所述夹具工装还包括若干分别设置在定位基座顶部的滑轨,且其对应第一夹臂和第二夹臂设置在中空轴的两侧;所述第一夹臂和第二夹臂可在滑轨上滑动;
所述夹具工装还包括弹性件,其一端连接第一夹臂、弹性件的另一端连接第二夹臂;所述弹性件用于两夹臂张开后的复位,带动两夹臂夹持芯片。
7.根据权利要求5所述的高产能的芯片烧录机,其特征在于:
所述定位基座的顶部分别开设有限位第一推杆和第二推杆运动的条形孔;第一推杆和第二推杆的末端均穿设条形孔并悬空设置。
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