[发明专利]一种循环脉冲扫描轴向磁场发生装置

说明书

本发明公开一种循环脉冲扫描轴向磁场发生装置，包括供电组件、电机、减速机、电枢组件和磁极，所述电机的输出轴与减速机的输入轴连接，所述电枢组件包括电枢体和电枢轴，所述减速机的输出轴与电枢轴连接，所述电枢体周向装设有多个第一电极，所述电枢轴上设有一个第二电极，所述磁极包括一支架和多个螺线管，所述支架轴向开设有多个容置槽，所述螺线管安装于容置槽中，所述电枢轴与供电组件电连接，所述第一电极与螺线管的一端电连接，所述螺线管的另一端与供电组件电连接，所述第一电极与螺线管为一一对应关系。本发明所产生的电弧源磁场没有干涉带电粒子轴向运动力的外加杂力，使电弧斑运动更加改善，使所镀膜层更为细腻。

技术领域

本发明涉及磁场发生设备技术领域，特别涉及一种循环脉冲扫描轴向磁场发生装置。

背景技术

电弧真空离子镀膜机作为真空涂层的生产设备，当前已经被广泛应用到工业化生产中。所述电弧真空离子镀膜机中通常设有磁场发生装置，其能产生真空电弧源磁场用以改善电弧斑的运动轨迹和速度。

但传统的磁场发生装置中产生的电磁场均带有径向或周向磁场，这会损失了轴向离子通量，在这些磁场中制造的电弧阴极会导致镀膜沉积速率损失达到30%-50%，并导致薄膜结合力下降，造成这一现象的原因是离子到达比下降导致刻蚀和轰击加热的损失及成膜能量的减少。

发明内容

本发明要解决的技术问题是，针对上述现有技术中的不足，提供一种循环脉冲扫描轴向磁场发生装置，其产生的电弧源磁场没有干涉带电粒子轴向运动力的外加杂力，使电弧斑的运动更加改善，使所镀膜层更为细腻。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：

一种循环脉冲扫描轴向磁场发生装置，包括供电组件、电机、减速机、电枢组件和磁极，所述电机的输出轴与减速机的输入轴连接，所述电枢组件包括电枢体和电枢轴，所述电枢轴转动设置于电枢体内，所述减速机的输出轴与电枢轴连接，所述电枢体周向装设有多个第一电极，所述电枢轴上设有一个第二电极，所述第二电极随电枢轴转动，所述磁极包括一支架和多个螺线管，所述支架轴向开设有多个容置槽，所述螺线管安装于容置槽中，且所述容置槽的轴线与螺线管的轴线相互叠合，所述螺线管与容置槽为一一对应关系，所述电枢轴与供电组件电连接，所述第一电极通过导线与螺线管的一端电连接，所述螺线管的另一端与供电组件电连接，所述第一电极与螺线管为一一对应关系。

作为一种优选方案，所述电枢组件还包括绝缘套筒、轴套和两绝缘夹板，所述绝缘套筒和轴套设于电枢轴和电枢体之间，所述绝缘套筒套设于电枢轴外，所述轴套套设于绝缘套筒外，所述绝缘套筒和轴套的侧壁开设有一夹槽，所述绝缘夹板和第二电极装设于夹槽内，所述第二电极设于两绝缘夹板之间。

作为一种优选方案，所述电枢组件还包括电枢壳和轴承，所述轴承套设于电枢轴的两端，所述电枢壳包括外壳和端盖，所述外壳套设于电枢体外，所述端盖盖设于外壳的两侧，所述端盖套装于轴承外，所述轴承与端盖之间设有绝缘套。

作为一种优选方案，所述循环脉冲扫描轴向磁场发生装置还包括环力弹簧，所述环力弹簧装设于外壳和电枢体之间。

作为一种优选方案，所述循环脉冲扫描轴向磁场发生装置还包括端部绝缘套筒，所述端部绝缘套筒套设于电枢体和轴套之间，且所述端部绝缘套筒的一侧面与端盖的内侧面相抵，所述端部绝缘套筒的另一侧面与第一电极的外侧面相抵。

作为一种优选方案，所述供电组件包括电源、变压器、电流表和电压表，所述电流表的一端与电源的正极电连接，所述电流表的另一端与变压器的一端电连接，所述变压器的另一端与电枢组件/磁极电连接，所述电压表与电流表和变压器并联，所述电源的负极与磁极/电枢组件电连接。

作为一种优选方案，所述第一电极的材质为铜，所述第二电极的材质为铜或石墨。

作为一种优选方案，所述螺线管的线圈材料为铜导线，所述铜导线的直径为0.5mm，所述螺线管的线圈匝数为800。