[发明专利]一种卧式移动阴极镀膜机

说明书

本发明公开了一种卧式移动阴极镀膜机，包括安装架、真空腔体、往复运动机构、线性阴极源、弱电接入口、过滤充气、翻板阀、粗抽机械泵、前级机械泵、分子泵、插板阀、托盘入料台、入料电机和托盘，所述安装架内部一侧设置有真空腔体，本发明实现了片状和柱状钕铁硼陶瓷表面对金属铽、镝和铝镀膜的中试生产工艺，且镀膜机也可以用于各种材料的表面改性镀膜，对于钕铁硼陶瓷片和陶瓷柱磁控溅射金属化镀膜的中试生产，每天的产能也可以达到10‑50公斤；尤其适合钕铁硼磁性陶瓷片和陶瓷柱表面金属化功能膜的镀膜，例如溅射铽、镝和铝等表面改性薄膜；生产线采用全自动化设计，批次生产，生产效率高，洁净度高，可靠性好。

技术领域

本发明涉及镀膜机技术领域，具体为一种卧式移动阴极镀膜机。

背景技术

采用精炼、熔化锻造、压延加工或粉未冶金工艺制造的贵金属及其合金的溅射靶材广泛应用在半导体器件、显示器件、记录介质、磁性改性材料和波吸收改性等方面。

随着混合动力汽车(HEV)产业的快速发展，汽车用的钕铁硼磁铁要求具有高的矫顽力且能高温服役。而业界都常识是镝/铽(Dy/Tb)等重金属稀有元素取代烧结钕铁硼中Nd2Te14B晶粒中的Nd，将提高主相晶体的各向异性场，而使得磁体的矫顽力大幅度增加，但是重稀土资源稀缺价格昂贵，采用传统的合金法提高矫顽力会大幅度增加成本，更加严重的是，由于重稀土离子与铁离子之间的反磁耦合会造成原始添加后剩磁和磁能积大幅度下降。

在钕铁硼磁铁陶瓷表面进行渗镝渗铽的技术，其工艺方案是，首先在铁硼磁铁陶瓷表面先采用磁控溅射的方法沉积镝或铽金属膜层，然后再对陶瓷进行热处理工艺进行渗透，形成渗镝或铽的晶体改性区。

在生产过程中，由于生产线的是为了大批量生产而设计，无法完成对新产品的工艺尝试，或者说用连续镀膜线进行工艺调试成本很高，因此，设计一种卧式移动阴极镀膜机是很有必要的。

发明内容

本发明的目的在于提供一种卧式移动阴极镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种卧式移动阴极镀膜机，包括安装架、真空腔体、冷却水道、检修门、自转托盘动力引入口、真空检测口、粗抽气法兰、高抽气法兰、往复运动机构、线性阴极源、移动导轮、导杆、导杆安装座、冷却水和强电接入口、弱电接入口、过滤充气、观察窗、托盘进口、翻板阀、粗抽机械泵、抽气管道、前级机械泵、分子泵、插板阀、托盘入料台、导辊、第一传动轮、传动带、第二传动轮、入料电机和托盘，所述安装架内部一侧设置有真空腔体，所述真空腔体外部六面均焊接有冷却水道，所述真空腔体上端安装有检修门，所述真空腔体下端一侧设置有自转托盘动力引入口，所述自转托盘动力引入口一侧设置有真空检测口，所述真空检测口一侧设置有粗抽气法兰，所述粗抽气法兰一侧设置有高抽气法兰，所述真空腔体前侧设置有往复运动机构，所述往复运动机构一侧设置有线性阴极源，且线性阴极源两侧端均安装有移动导轮，且移动导轮下端设置有导杆，所述导杆固定连接于导杆安装座上，所述往复运动机构一侧相对于真空腔体一侧设置有冷却水和强电接入口，所述冷却水和强电接入口一侧设置有弱电接入口，所述真空腔体远离弱电接入口一侧端设置有过滤充气，所述真空腔体左侧设置有观察窗，所述真空腔体远离观察窗一侧开设有托盘进口，且托盘进口一端安装有翻板阀，所述真空腔体下部一侧相对于安装架内部设置有粗抽机械泵，且粗抽机械泵通过抽气管道与粗抽气法兰连接，所述粗抽机械泵一侧设置有前级机械泵，所述前级机械泵一端设置有分子泵，且分子泵一端与前级机械泵一端通过插板阀连接，所述分子泵另一端通过抽气管道与高抽气法兰连接，所述安装架内部相对于托盘进口一侧设置有托盘入料台，所述托盘入料台上端转动连接有导辊，所述导辊上端设置有托盘，所述导辊一端设置有第一传动轮，所述第一传动轮通过传动带传动连接有第二传动轮，所述第二传动轮一端中部连接有入料电机，且入料电机位于安装架内部。

进一步的，所述真空检测口包括高真空检测口和低真空检测口。

进一步的，所述过滤充气为过滤干燥的氮气或过滤干燥的压缩空气。