[发明专利]限位装置及限位系统

权利要求书

1.一种限位装置，其特征在于，包括：与运动台的动子或定子固定连接的限位框，与运动台的定子或动子固定连接的中空的限位柱中心杆，所述限位柱中心杆的端部通过套设的缓冲件安装在所述限位框内，所述缓冲件与限位框之间留有间隙，以及安装在所述限位柱中心杆内的传感器，所述传感器与所述限位柱中心杆的内壁之间非接触；所述限位装置还包括套设在所述限位柱中心杆外侧的限位柱缓冲杆；还包括固定在所述限位柱缓冲杆上的缓冲套，所述缓冲套通过连接件和所述运动台的定子或动子连接；所述传感器、所述限位柱中心杆、所述限位柱缓冲杆及缓冲套依次由内向外同轴设置；所述限位柱中心杆、限位柱缓冲杆及缓冲套为一体式结构，所述限位柱中心杆、所述限位柱缓冲杆及所述缓冲套彼此之间留有间隙。

2.如权利要求1所述的限位装置，其特征在于，所述缓冲件为球铰，所述限位柱中心杆的端部插入所述球铰中。

3.如权利要求1所述的限位装置，其特征在于，所述缓冲件为聚氨酯，所述聚氨酯包裹在所述限位柱中心杆的端部。

4.如权利要求1所述的限位装置，其特征在于，所述限位框与所述限位柱中心杆在水平方向上的距离不大于所述运动台的动子相对运动台的定子在水平方向运动时的行程。

5.一种限位系统，其特征在于，包括多个如权利要求1至4中任一项所述的限位装置。

6.如权利要求5所述的限位系统，其特征在于，所述限位装置为3个，3个所述限位装置的连线呈等腰三角形分布在运动台上。

7.如权利要求5所述的限位系统，其特征在于，所述限位装置为4个，4个所述限位装置的连线呈方形分布在运动台上。