[发明专利]涂布液供给装置及操作方法、涂布机、隔垫物的制作方法

权利要求书

1.一种涂布液供给装置，包括依次连接的加压控制阀、涂布液存储容器、缓冲存储容器和吸液泵，其中，

所述涂布液存储容器用于存储涂布液并且包括加压口和出液口；

在所述加压控制阀打开的情况下，所述涂布液存储容器的加压口被施加压力，以使所述涂布液存储容器中的涂布液通过所述出液口流入所述缓冲存储容器中；

所述缓冲存储容器用于存储从所述涂布液存储容器的出液口流出的涂布液；

所述吸液泵用于从所述缓冲存储容器中吸取涂布液，

其中，

所述加压控制阀包括输入口、第一输出口和第二输出口，所述第一输出口连接所述涂布液存储容器的加压口；

所述涂布液存储容器还设置有安全阀；

在所述涂布液存储容器中的气压不超过所述安全阀的规定值的情况下，保持所述涂布液存储容器内的气压不被释放；

在所述涂布液存储容器中的气压超过所述安全阀的规定值的情况下，打开所述安全阀和所述加压控制阀的第二输出口，以减小所述涂布液存储容器内的气压。

2.根据权利要求1所述的涂布液供给装置，其中，在所述加压控制阀包括输入口、第一输出口和第二输出口的情况下，所述安全阀与所述加压控制阀信号连接。

3.根据权利要求1所述的涂布液供给装置，还包括液位控制阀，其中，

所述液位控制阀与所述涂布液存储容器的出液口和所述缓冲存储容器连接；

在所述涂布液存储容器的加压口被施加压力的情况下，所述液位控制阀打开；

在所述吸液泵从所述缓冲存储容器中吸取涂布液的过程中，所述液位控制阀关闭。

4.根据权利要求3所述的涂布液供给装置，还包括液位传感器，其中，所述液位传感器用于检测所述缓冲存储容器中的涂布液的液位，并且将液位检测结果输出至所述液位控制阀。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的涂布液供给装置，其中，所述缓冲存储容器包括下进液口、下出液口和上排废口，所述下进液口与所述涂布液存储容器的出液口连接，所述下出液口与所述吸液泵连接，所述上排废口在所述涂布液存储容器中的涂布液流入所述缓冲存储容器的过程中保持打开。

6.根据权利要求5所述的涂布液供给装置，其中，所述缓冲存储容器还包括上加压口，所述上加压口在所述吸液泵从所述缓冲存储容器中吸取涂布液的过程中被施加压力。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的涂布液供给装置，还包括预处理装置，其中，所述预处理装置包括：

过滤器，其用于对从所述缓冲存储容器中流出的涂布液进行过滤处理；以及

脱气模组，其用于去除从所述过滤器流出的涂布液中的气泡。

8.一种涂布机，包括涂布头以及权利要求1-7中任一项所述的涂布液供给装置，其中，所述涂布液供给装置中的吸液泵用于向所述涂布头提供涂布液。

9.一种如权利要求1或2所述涂布液供给装置的操作方法，包括：

检测所述缓冲存储容器中的液位；

在所述缓冲存储容器中的液位低于最低允许液位的情况下，向所述涂布液存储容器的加压口施加压力，以使所述涂布液存储容器中的涂布液流入所述缓冲存储容器中；

在所述缓冲存储容器中的液位超过最高允许液位的情况下，停止向所述涂布液存储容器施加压力，并且控制所述吸液泵从所述缓冲存储容器中吸取涂布液。

10.一种隔垫物的制作方法，包括

利用权利要求8所述的涂布机在基板上涂布初始薄膜；

对所述初始薄膜进行图案化处理，以形成多个彼此间隔开的隔垫物。