[发明专利]一种稳定性佳且易于清洗的显影液在审
| 申请号: | 201810902723.9 | 申请日: | 2018-08-09 |
| 公开(公告)号: | CN109143798A | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
| 发明(设计)人: | 吕永刚;赵东昊;郑峰 | 申请(专利权)人: | 苏州纳勒电子科技有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/32 | 分类号: | G03F7/32 |
| 代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 张汉钦 |
| 地址: | 215000*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 显影液 碱性显影剂 清洗 稳定剂 碳酸盐 水溶性醇类 显影液配方 干膜残渣 强碱体系 去离子水 无机碱类 兼容性 显影槽 重量份 复配 省时 省水 配方 溶解 | ||
1.一种稳定性佳且易于清洗的显影液,其由碱性显影剂、稳定剂和水组成,其中,各个物质按重量份计分别为:碱性显影剂10-40份,稳定剂10-40份,去离子水30-100份,所述稳定剂为二乙二醇,二丙二醇,乙二醇,丙二醇中的至少一种,所述碱性显影剂为显影主剂和显影助剂的复合物,所述显影主剂为氢氧化钾或氢氧化钠,所述显影助剂为无机碳酸盐。
2.根据权利要求1所述的一种稳定性佳且易于清洗的显影液,其特征在于,所述碱性主剂和所述碱性助剂的质量比为10:0.5-10:5。
3.根据权利要求2所述的一种稳定性佳且易于清洗的显影液,其特征在于,所述无机碳酸盐为碳酸钾,碳酸铵和碳酸钠中的至少一种。
4.根据权利要求1-3中任意一项权利要求所述的一种稳定性佳且易于清洗的显影液,其特征在于,所述稳定剂的重量份为15-30份。
5.根据权利要求4所述的一种稳定性佳且易于清洗的显影液,其特征在于,所述碱性显影剂的重量份为15-35份。
6.一种如权利要求1-3中任意一项权利要求所述的易于清洗的显影液的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:在室温下,向反应釜中注入去离子水,随后将稳定剂加入反应釜中,溶解完全后将碱性显影剂加入反应釜中,溶解完全,过滤即可。
7.根据权利要求6所述的易于清洗的显影液的制备方法,其特征在于,所述碱性显影剂的加入顺序为先加入显影助剂,待其溶解完全后加入显影主剂。
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