[发明专利]一种稳定性佳且易于清洗的显影液在审

专利信息
申请号: 201810902723.9 申请日: 2018-08-09
公开(公告)号: CN109143798A 公开(公告)日: 2019-01-04
发明(设计)人: 吕永刚;赵东昊;郑峰 申请(专利权)人: 苏州纳勒电子科技有限公司
主分类号: G03F7/32 分类号: G03F7/32
代理公司: 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 代理人: 张汉钦
地址: 215000*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 显影液 碱性显影剂 清洗 稳定剂 碳酸盐 水溶性醇类 显影液配方 干膜残渣 强碱体系 去离子水 无机碱类 兼容性 显影槽 重量份 复配 省时 省水 配方 溶解
【权利要求书】:

1.一种稳定性佳且易于清洗的显影液,其由碱性显影剂、稳定剂和水组成,其中,各个物质按重量份计分别为:碱性显影剂10-40份,稳定剂10-40份,去离子水30-100份,所述稳定剂为二乙二醇,二丙二醇,乙二醇,丙二醇中的至少一种,所述碱性显影剂为显影主剂和显影助剂的复合物,所述显影主剂为氢氧化钾或氢氧化钠,所述显影助剂为无机碳酸盐。

2.根据权利要求1所述的一种稳定性佳且易于清洗的显影液,其特征在于,所述碱性主剂和所述碱性助剂的质量比为10:0.5-10:5。

3.根据权利要求2所述的一种稳定性佳且易于清洗的显影液,其特征在于,所述无机碳酸盐为碳酸钾,碳酸铵和碳酸钠中的至少一种。

4.根据权利要求1-3中任意一项权利要求所述的一种稳定性佳且易于清洗的显影液,其特征在于,所述稳定剂的重量份为15-30份。

5.根据权利要求4所述的一种稳定性佳且易于清洗的显影液,其特征在于,所述碱性显影剂的重量份为15-35份。

6.一种如权利要求1-3中任意一项权利要求所述的易于清洗的显影液的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:在室温下,向反应釜中注入去离子水,随后将稳定剂加入反应釜中,溶解完全后将碱性显影剂加入反应釜中,溶解完全,过滤即可。

7.根据权利要求6所述的易于清洗的显影液的制备方法,其特征在于,所述碱性显影剂的加入顺序为先加入显影助剂,待其溶解完全后加入显影主剂。

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