[发明专利]一种麦克风

权利要求书

1.一种麦克风，其特征在于：包括衬底、膜板，所述膜板的中部位置通过弹性扭梁连接在衬底上，所述膜板在衬底上形成了跷跷板结构；以弹性扭梁为界，所述膜板发生偏转运动的相对两侧分别记为第一侧、第二侧，其中在膜板第二侧的位置设置有多个供声音穿过的镂空；所述膜板被配置为受到声音信号时以弹性扭梁为轴发生偏转；

在所述膜板的第一侧、第二侧还分别形成了用于表征膜板相应侧偏转电信号的第一检测结构、第二检测结构；所述第一检测结构和第二检测结构构成了差分结构；

所述第一检测结构、第二检测结构分别包含磁体以及用于与磁体配合在一起的磁阻传感器；

所述磁体和磁阻传感器中的一个设置在膜板上，另一个设置在衬底上。

2.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于：第一检测结构、第二检测结构中的磁阻传感器分别至少设置有一个，第一检测结构、第二检测结构中的磁阻传感器构成了惠斯通电桥。

3.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于：每个磁阻传感器对应一个磁体，所述磁体和磁阻传感器中的一个设置在膜板上，另一个设置在衬底上。

4.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于：所述第一检测结构、第二检测结构的结构相同，每个磁阻传感器对应两个磁体，分别记为第一磁体、第二磁体，磁阻传感器设置在第一磁体、第二磁体形成的共同磁场中；初始位置时，所述磁阻传感器位于第一磁体的磁场方向与第二磁体的磁场方向相反的位置；所述磁阻传感器被配置为在膜板的偏转过程中感应第一磁体、第二磁体共同磁场的变化而输出变化的电信号。

5.根据权利要求4所述的麦克风，其特征在于，初始位置时，所述磁阻传感器受到第一磁体的磁场，与受到第二磁体的磁场大小相等，方向相反。

6.根据权利要求4所述的麦克风，其特征在于，所述第一磁体、第二磁体以磁极方向相同的方式依次水平布置在膜板上，所述磁阻传感器设置在衬底上与第一磁体、第二磁体相对应的位置；

或者，所述第一磁体、第二磁体以磁极方向相同的方式依次水平布置在衬底上，所述磁阻传感器设置在膜板上与第一磁体、第二磁体相对应的位置。

7.根据权利要求4所述的麦克风，其特征在于，还设置有位于膜板上方的承载部，所述磁阻传感器设置在膜板上，所述第一磁体、第二磁体分别设置在位于振膜两侧的衬底、承载部上，且第一磁体、第二磁体的以磁极方向相反的方式进行布置。

8.根据权利要求7所述的麦克风，其特征在于，所述第一磁体、第二磁体相对于磁阻传感器对称。

9.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于，所述衬底上具有与膜板第一侧对应的第一中空腔，以及与膜板第二侧对应的第二中空腔。

10.根据权利要求9所述的麦克风，其特征在于，在所述衬底远离膜板的一端还设置有将第一中空腔、第二中空腔封闭的基板。

11.根据权利要求9或10所述的麦克风，其特征在于，所述第一中空腔、第二中空腔连通在一起。

12.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于，还包括调节膜板初始位置的驱动装置。

13.根据权利要求12所述的麦克风，其特征在于，所述驱动装置为设置在弹性扭梁位置的压电片，所述压电片被配置为驱动弹性扭梁变形。

14.根据权利要求12所述的麦克风，其特征在于，所述驱动装置为用于给膜板提供偏转静电力的电极片。