[发明专利]一种传感器

权利要求书

1.一种传感器，其特征在于，包括第一衬底以及通过第一间隔部支撑在第一衬底上方的振膜，还包括用于输出表征振膜形变电信号的检测结构；所述检测结构包括第一磁体、第二磁体，以及设置在第一磁体、第二磁体形成共同磁场中的磁阻传感器；其中，

初始位置时，所述磁阻传感器位于第一磁体的磁场方向与第二磁体的磁场方向相反的位置；

所述磁阻传感器被配置为在振膜的振动过程中感应第一磁体、第二磁体共同磁场的变化而输出变化的电信号；

所述第一衬底、第一间隔部、振膜围成了真空腔，其中，振膜在大气压力下的静态偏转距离小于振膜与第一衬底之间的距离；

第一磁体、第二磁体设置在振膜、第一衬底的其中一个上，磁阻传感器设置在振膜、第一衬底中的另一个上。

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，初始位置时，所述磁阻传感器受到第一磁体的磁场，与受到第二磁体的磁场大小相等，方向相反。

3.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第一磁体、第二磁体以磁极方向相同的方式依次水平布置在振膜上，所述磁阻传感器设置在第一衬底上与第一磁体、第二磁体相对应的位置；

或者，所述第一磁体、第二磁体以磁极方向相同的方式依次水平布置在第一衬底上，所述磁阻传感器设置在振膜上与第一磁体、第二磁体相对应的位置。

4.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第一衬底具有与外界连通的中空腔，还包括与振膜隔开的悬臂，所述悬臂、振膜悬置在第一衬底中空腔上方，且所述振膜与第一间隔部、衬底围成了开放式的容腔；

第一磁体、第二磁体设置在振膜、悬臂的其中一个上，磁阻传感器设置在振膜、悬臂中的另一个上。

5.根据权利要求4所述的传感器，其特征在于，所述第一磁体、第二磁体以磁极方向相同的方式依次水平布置在振膜上，所述磁阻传感器设置在悬臂上与第一磁体、第二磁体相对应的位置；

或者，所述第一磁体、第二磁体以磁极方向相同的方式依次水平布置在悬臂上，所述磁阻传感器设置在振膜上与第一磁体、第二磁体相对应的位置。

6.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第一衬底、第一间隔部、振膜围成了真空腔；其中，振膜在大气压力下的静态偏转距离小于振膜与第一衬底之间的距离；

还包括与振膜通过第二间隔部隔开的悬臂，且所述振膜与第二间隔部、悬臂围成了开放式的容腔；

所述磁阻传感器设置在振膜上，所述第一磁体、第二磁体分别设置在位于振膜两侧的第一衬底、悬臂上，且第一磁体、第二磁体的以磁极方向相反的方式进行布置。

7.根据权利要求6所述的传感器，其特征在于，所述第一磁体、第二磁体相对于磁阻传感器对称。

8.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第一衬底具有与外界连通的中空腔，在振膜相对的两侧还分别设置有第一悬臂、第二悬臂，所述振膜与第一悬臂、第二悬臂之间均间隔开，所述振膜的两侧均与外界连通；

所述磁阻传感器设置在振膜上，所述第一磁体、第二磁体分别设置在第一悬臂、第二悬臂上，且第一磁体、第二磁体的以磁极方向相反的方式进行布置。

9.根据权利要求1至8任一项所述的传感器，其特征在于：所述传感器为麦克风、压力传感器、位移传感器中的任意一种。