[发明专利]一种干式真空泵的清洁装置

权利要求书

1.一种干式真空泵的清洁装置，其特征在于，包括与干式真空泵的进气口连接的主管道、与主管道连接的分管道以及用于提供清洁气体的清洁气体供给装置；其中，所述主管道上设有用于控制干式真空泵正常作业时所抽气体进入泵内的第一开关阀；所述分管道与清洁气体供给装置连接，且分管道上设有用于控制清洁气体进入泵内的第二开关阀；所述干式真空泵的排气口处设有主排气管道以及连接在主排气管道上的副排气管道，所述主排气管道上设有用于控制干式真空泵正常作业时气体排出的第三开关阀，所述副排气管道上设有用于控制干式真空泵进行泵内清洁时气体排出的第四开关阀。

2.根据权利要求1所述的干式真空泵的清洁装置，其特征在于，所述清洁气体供给装置包括与副管道连接的气瓶以及设置在第二开关阀与气瓶之间的加热装置，所述加热装置设置在副管道的外壁上，所述气瓶内装有压缩的清洁气体，气瓶的出气口设有出气开关阀。

3.根据权利要求2所述的干式真空泵的清洁装置，其特征在于，所述第二开关阀与气瓶之间设有第一温度计。

4.根据权利要求1-3任一项所述的干式真空泵的清洁装置，其特征在于，沿着气体在副排气管道上的移动方向，所述第四开关阀的下游设有回收瓶，该回收瓶与副排气管道的连通；所述回收瓶的进气口设有进气开关阀，该进气开关阀由单向阀构成。

5.根据权利要求4所述的干式真空泵的清洁装置，其特征在于，所述第四开关阀与回收瓶之间设有冷却除杂装置，该冷却除杂装置包括降温组件以及除杂箱；其中，沿着气体在副排气管道的移动方向，所述降温组件设置在除杂箱的前面，且设置在副排气管道的外壁上；所述除杂箱的两端均与副排气管道连通。

6.根据权利要求5所述的干式真空泵的清洁装置，其特征在于，所述除杂箱的横截面积比副排气管道的横截面积大。

7.根据权利要求6所述的干式真空泵的清洁装置，其特征在于，所述除杂箱内设有多个隔板，隔板上设有疏通孔。

8.根据权利要求7所述的干式真空泵的清洁装置，其特征在于，沿着气体在副排气管道的移动方向，所述除杂箱后设置第二温度计。

9.根据权利要求8所述的干式真空泵的清洁装置，其特征在于，所述回收瓶与第二温度计之间设有回收排气口，沿着气体的移动方向，所述回收排气口前设有第五开关阀。

10.根据权利要求1所述的干式真空泵的清洁装置，其特征在于，干式真空泵的螺杆上连接有转动驱动机构。