[发明专利]柔性显示面板及制造方法

权利要求书

1.一种柔性显示面板，其特征在于，包括：

柔性衬底；

阻挡层，位于所述柔性衬底的表面；

缓冲层，位于所述阻挡层的表面；

有源层，位于所述缓冲层的表面；

第一栅极绝缘层，位于所述缓冲层的表面并覆盖所述有源层；

栅极金属层，位于所述第一栅极绝缘层的表面；

第二栅极绝缘层，位于所述第一栅极绝缘层的表面并覆盖所述栅极金属层；

第一源漏极金属层，位于所述第二栅极绝缘层的表面，并且所述第一源漏极金属层的位置与所述栅极金属层的位置对应；

层间绝缘层，位于所述第二栅极绝缘层的表面并覆盖所述第一源漏极金属层；

第一钝化层，位于所述层间绝缘层的表面；

第二源漏极金属层，位于所述第一钝化层的表面；

第二钝化层，位于所述第一钝化层的表面并覆盖所述第二源漏极金属层；

阳极金属层，位于所述第二钝化层的表面；

像素隔离层，位于所述第二钝化层的表面并覆盖所述阳极金属层的边缘两端；

像素支撑层，位于所述像素隔离层的表面；

其中，所述第一钝化层上形成有第一通孔以及第二通孔，所述第二源漏极金属层通过所述第一通孔与所述有源层连通，所述第二源漏极 金属层通过所述第二通孔与所述第一源漏极 金属层连通；所述第一通孔贯穿所述第一钝化层、所述层间绝缘层、所述第二栅极绝缘层以及所述第一栅极绝缘层并止于所述有源层；所述第二通孔贯穿所述第一钝化层以及所述层间绝缘层并止于所述第一源漏极金属层，所述柔性衬底包括显示区域和设置在所述显示区域外的非显示区域，所述显示区域设置有所述第一通孔以及所述第二通孔，所述非显示区域设置有一沟槽，所述沟槽包括多个台阶，所述第一钝化层完全覆盖所述沟槽。

2.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第二通孔的深度小于所述第一通孔的深度。

3.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述沟槽贯穿所述层间绝缘层、所述第二栅极绝缘层、所述第一栅极绝缘层、所述缓冲层以及所述阻挡层并止于所述柔性衬底。

4.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性衬底的材料为聚酰亚胺或聚对苯二甲酸乙二醇酯，所述缓冲层的材料为氮化硅或氧化硅其中的一种或两种，所述第一栅极绝缘层的材料为氮化硅或氧化硅，所述第二栅极绝缘层的材料与所述第一栅极绝缘层的材料相同。

5.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述栅极金属层的材料为钼，所述第一源漏极金属层的材料为钛或钛铝合金，所述第二源漏极金属层的材料与所述第一源漏极金属层的材料相同。

6.一种柔性显示面板的制造方法，其特征在于，包括：

S10，提供一基板，在所述基板表面制备柔性衬底，所述柔性衬底包括显示区域和设置在所述显示区域外的非显示区域，之后在所述柔性衬底表面依次制备阻挡层以及缓冲层，然后在所述缓冲层的表面制备有源层，之后在所述缓冲层的表面制备第一栅极绝缘层，所述第一栅极绝缘层完全覆盖所述有源层，然后在所述第一栅极绝缘层的表面制备栅极金属层，第二栅极绝缘层形成于所述第一栅极绝缘层并完全覆盖所述栅极金属层，在所述第二栅极绝缘层上制备第一源漏极金属层；

S20，在所述第二栅极绝缘层的表面上制备层间绝缘层，所述层间绝缘层完全覆盖所述第一源漏极金属层，通过掩膜对所述层间绝缘层、所述第二栅极绝缘层、所述第一栅极绝缘层、所述缓冲层以及所述阻挡层进行刻蚀，形成位于所述显示区域内的第一通孔和位于非显示区域的沟槽，所述第一通孔暴露出所述有源层，所述沟槽暴露出所述柔性衬底；

S30，在所述层间绝缘层的表面依次制备第一钝化层、第二源漏极金属层、第二钝化层、阳极金属层、像素隔离层以及像素支撑层，所述第一钝化层完全覆盖所述沟槽，所述第二源漏极金属层通过所述第一通孔与所述有源层连通，通过掩膜对所述第一钝化层进行刻蚀，形成位于所述显示区域内第二通孔，所述第二源漏极 金属层通过所述第二通孔与所述第一源漏极 金属层连通，最后去除所述基板；

其中，所述沟槽包括多个台阶。

7.根据权利要求6所述的柔性显示面板的制造方法，其特征在于，所述栅极金属层的材料为钼，所述第一源漏极金属层的材料为钛或钛铝合金，所述第二源漏极金属层的材料与所述第一源漏极金属层的材料相同。