[发明专利]一种硬盘基板用微晶玻璃的抛光装置

权利要求书

1.一种硬盘基板用微晶玻璃的抛光装置，包括抛光台(1)，其特征在于：所述抛光台(1)上表面安装有用于固定微晶玻璃的吸盘组件(2)，所述吸盘组件(2)外围设置有用于微晶玻璃位置纠正的定位装置(3)，所述吸盘组件(2)上方设有微晶玻璃抛光装置(4)，所述微晶玻璃抛光装置(4)固定安装在抛光台(1)上表面。

2.根据权利要求1所述的一种硬盘基板用微晶玻璃的抛光装置，其特征在于：所述吸盘组件(2)包括固定安装在抛光台(1)上的支撑架(201)，所述支撑架(201)顶端固定安装有支撑盘(202)，所述支撑盘(202)上设有若干排呈圆周分布的固定吸盘(203)，所述固定吸盘(203)通气口共同连接有空心泄气盘(204)，所述空心泄气盘(204)固定安装在支撑盘(202)下底面，所述空心泄气盘(204)上通过导管连接有泄放调节开关(205)，所述泄放调节开关(205)固定安装在抛光台(1)上表面。

3.根据权利要求2所述的一种硬盘基板用微晶玻璃的抛光装置，其特征在于：所述支撑盘(202)上表面设有缓冲防护垫(5)。

4.根据权利要求2所述的一种硬盘基板用微晶玻璃的抛光装置，其特征在于：所述泄放调节开关(205)包括固定安装在抛光台(1)上的泄放筒(2051)，所述泄放筒(2051)底端通过导管与空心泄气盘(204)连接，所述泄放筒(2051)内固定安装有密封环(2052)，所述密封环(2052)下底面设有密封槽(2053)，所述密封槽(2053)内活动设有密封活塞(2054)，且密封活塞(2054)与密封槽(2053)之间设有密封垫(2055)，所述密封活塞(2054)下底面与泄放筒(2051)底面之间连接有密封弹簧(2056)，所述密封活塞(2054)上表面固定安装有泄气杆(2057)，且泄气杆(2057)顶部穿过泄放筒(2051)顶面，所述泄气杆(2057)顶端固定安装有调节按钮(2058)。

5.根据权利要求1所述的一种硬盘基板用微晶玻璃的抛光装置，其特征在于：所述定位装置(3)包括两个相互垂直设置的活动框(301)，两个所述活动框(301)之间连接有驱动连接管(302)，所述活动框(301)内均滑动设有两根平行设置的驱动齿轮条(303)，所述驱动齿轮条(303)上通过连接杆(304)连接有定位板(305)，且位于同一个活动框(301)上的两个定位板(305)之间连接有收缩弹簧(306)，四根所述驱动齿轮条(303)共同啮合连接释放齿轮组(307)，且释放齿轮组(307)通过轴承活动安装在驱动连接管(302)内壁上，所述释放齿轮组(307)底端固定安装有驱动杆(308)，所述驱动杆(308)通过链条连接有旋转把手(309)，所述旋转把手(309)通过轴承活动安装在抛光台(1)上。

6.根据权利要求5所述的一种硬盘基板用微晶玻璃的抛光装置，其特征在于：所述活动框(301)上设有截面呈“凵”形的滑轨(6)，所述滑轨(6)内活动设有滑轮(7)，所述滑轮(7)与驱动齿轮条(303)固定连接。

7.根据权利要求5所述的一种硬盘基板用微晶玻璃的抛光装置，其特征在于：所述旋转把手(309)上侧圆周面上设有若干个卡位槽(8)，所述卡位槽(8)内活动设有一个卡位片(9)，所述卡位片(9)铰接在抛光台(1)上表面。

8.根据权利要求5所述的一种硬盘基板用微晶玻璃的抛光装置，其特征在于：所述定位板(305)内侧面设有防护软垫(10)。

9.根据权利要求1所述的一种硬盘基板用微晶玻璃的抛光装置，其特征在于：所述微晶玻璃抛光装置(4)包括固定安装在抛光台(1)上的支撑柱(401)，所述支撑柱(401)上方通过旋转台(402)活动安装有安装柱(403)，所述安装柱(403)上水平安装有滑轨(404)，所述滑轨(404)上滑动设有滑套(405)，所述滑套(405)上固定安装有抛光机(406)。

10.根据权利要求9所述的一种硬盘基板用微晶玻璃的抛光装置，其特征在于：所述旋转台(402)包括旋转轴承(4021)，所述旋转轴承(4021)内圈固定安装有上支撑台(4022)，且上支撑台(4022)与安装柱(403)底端固定连接，所述旋转轴承(4021)外圈固定安装有下支撑台(4023)，且下支撑台(4023)与支撑柱(401)顶端固定连接。