[发明专利]渗硅工装有效
| 申请号： | 201810879575.3 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN109176832B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 刘军;孙伟华 | 申请（专利权）人： | 深圳勒迈科技有限公司 |
| 主分类号： | B28B1/54 | 分类号： | B28B1/54;B28B11/00;B28B17/00 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 齐则琳;张雷 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市前海深港合作区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工装 | ||
1.一种渗硅工装，用于装载碳制工件并进行液相渗硅生产，其特征在于，所述渗硅工装包括：
容器主体，所述容器主体上设有凹腔；
支撑件，所述支撑件放置于所述凹腔内以用于支撑所述碳制工件，且所述支撑件上设有用于容置硅粉的容置结构，所述支撑件为环状垫体，所述环状垫体包括内环和外环，所述容置结构设于外环和内环之间；
容器盖体，所述容器盖体盖合于所述容器主体上以用于密封所述凹腔。
2.如权利要求1所述的渗硅工装，其特征在于，所述容置结构为设于所述环状垫体上的蜂窝孔。
3.如权利要求2所述的渗硅工装，其特征在于，所述蜂窝孔沿所述环状垫体的轴向贯穿设置。
4.如权利要求1所述的渗硅工装，其特征在于，所述工装还包括石墨纸，所述凹腔的内壁包括腔底壁和环绕设置于所述腔底壁外边缘的腔侧壁，所述石墨纸包括附着于所述腔底壁上的底纸部，所述支撑件放置于所述底纸部上。
5.如权利要求4所述的渗硅工装，其特征在于，所述石墨纸还包括附着于所述腔侧壁上的侧纸部。
6.如权利要求5所述的渗硅工装，其特征在于，所述侧纸部顶端到所述底纸部之间的距离小于所述腔侧壁顶端到所述底纸部之间的距离。
7.如权利要求5所述的渗硅工装，其特征在于，所述侧纸部顶端到所述底纸部之间的距离大于所述支撑件顶端到所述底纸部之间的距离。
8.如权利要求1-7中任意一项所述的渗硅工装，其特征在于，所述支撑件由碳粉和酚醛树脂混合压制而成。
9.如权利要求1-7中任意一项所述的渗硅工装，其特征在于，所述容器主体和所述容器盖体都为石墨坩埚。
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