[发明专利]一种基于电沉积法的空心纳米针制备方法在审
| 申请号： | 201810870346.5 | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN109097752A | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 谢曦;杭天;何根;崔国峰;陈惠琄;刘繁茂;吴江明;杨成端;张爱华 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/20;C25D3/50;C25D9/02;C25D5/52 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人： | 曹爱红 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 空心纳米 电沉积法 沉积 预处理 表征分析 高分子膜 刻蚀工序 抛光工序 设备成本 实验条件 室温条件 条件要求 物理性质 医用技术 制备过程 电沉积 宽径比 有效地 管壁 针管 | ||
1.一种基于电沉积法的空心纳米针制备方法，其具体步骤是：
(1)对高分子膜进行预处理：即在高分子膜表面溅射一层金属薄膜作为导电层；
(2)电沉积镀管壁工序：在高分子膜表面和孔内部电镀金属或导电聚合物薄膜；
(3)抛光工序：通过抛光去除高分子膜表面电沉积后的多余金属层，只留下孔内壁的镀层；
(4)刻蚀工序：通过氧等离子体刻蚀工艺获得一定宽径比的空心纳米针管；
(5)表征分析所制备的空心纳米管的物理性质。
2.根据权利要求1所述的基于电沉积法的空心纳米针制备方法，其特征在于：上述步骤(2)所述的电沉积管壁工序具体是：利用AgCl参比电极、工作电极、辅助电极三电极体系，在一定孔隙率和孔径大小的高分子膜表面和孔内部电镀金属或导电聚合物薄膜，在恒压工作模式下电镀上金属或聚合物层，通过控制电沉积过程中的总电荷量来控制电镀时间从而控制薄膜厚度。
3.根据权利要求1所述的基于电沉积法的空心纳米针制备方法，其特征在于：上述步骤(3)所述的抛光工序为采用抛光粉机械抛光，得到表面无金属而孔内壁镀有金属或导电聚合物材料的高分子膜。
4.根据权利要求1所述的基于电沉积法的空心纳米针制备方法，其特征在于：上述步骤(4)所述的刻蚀工序为等离子体刻蚀法，去除掉上表面部分的高分子层基体，使内部的管状结构裸露出来，从而获得空心纳米针管。
5.根据权利要求1所述的基于电沉积法的空心纳米针制备方法，其特征在于：上述步骤(5)所述的表征分析所制备的空心纳米管的物理性质为管厚度或管径或长度或宽径比，其通过SEM测试获得。
6.根据权利要求1至5任一项所述的基于电沉积法的空心纳米针制备方法，其特征在于：所述高分子膜为PC膜。
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