[发明专利]一种防着板自动拆换溅镀机

说明书

本发明公开了一种防着板自动拆换溅镀机，包含机架，机架内设有溅镀源、输送台和工作台，输送台的两侧设有防着板自动拆换组件，输送台下部设有避让结构；防着板自动拆换组件包含升降板、升降机构、拆换板和横移机构；升降机构带动升降板升降，横移机构设置有移动座；拆换板具有安装部和拼接部，安装部安装固定在移动座上，拼接部用于与升降板拼接；由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，因此，长时间使用后，只需要通过升降机构和横移机构动作，使升降板和拆换板分离，并将拆换板移出更换即可，不需要对防着板整体进行拆换清理，减少了材料的使用，降低了成本，节省了人力。

技术领域

本发明涉及一种防着板自动拆换溅镀机。

背景技术

真空溅镀是在真空环境下，使用物理的方式将材料源气化为气态分子、原子或离子，通过低压气体或离子体过程在基体表面沉积，使其具有某种特殊功能薄膜的技术；因溅镀过程中，溅镀源会随机方向溅射，除了在目标基体表面附着外，还有一部分会附着在周围其他部位的表面，为保护其他结构件避免附着、沉积膜层，需要使用防着板进行覆盖防护；现有的防着板大多为一体式结构，长时间使用后需要整体更换，并对换下的板材进行清理，增加了成本，并且降低了效率。

发明内容

针对上述存在的技术问题，本发明的目的是：提出了一种防着板自动拆换溅镀机。

本发明的技术解决方案是这样实现的：一种防着板自动拆换溅镀机，包含机架，机架内设有溅镀源、输送台和工作台，工作台设置在输送台上，溅镀源设置在工作台的上方，输送台的两侧均设置有防着板自动拆换组件，输送台两侧的下部均设置有避让结构；所述防着板自动拆换组件包含升降板、升降机构、拆换板和横移机构；所述升降机构带动升降板升降，横移机构设置有移动座，横移机构带动移动座沿横向移动；所述拆换板具有安装部和拼接部，安装部安装固定在移动座上，拼接部用于与升降板拼接；所述升降板与拆换板拼接后，升降板和拆换板的前侧工作表面平滑连接，并使安装部与避让结构配合。

优选的，所述升降板和拼接部的工作表面为斜面或圆弧面，安装部的工作表面为水平面。

优选的，所述升降板的前侧表面为光面，拆换板和延伸部的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构。

优选的，所述颗粒凸起结构的截面形状呈梯形。

由于上述技术方案的运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：

本发明的防着板自动拆换溅镀机，其防着板自动拆换组件由升降板、升降机构、拆换板和横移机构组成，由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，因此，长时间使用后，只需要通过升降机构和横移机构动作，使升降板和拆换板分离，并将拆换板移出更换即可，不需要对防着板整体进行拆换清理，减少了材料的使用，降低了成本，节省了人力。

附图说明

下面结合附图对本发明技术方案作进一步说明：

附图1为本发明的一种防着板自动拆换溅镀机的示意图；

附图2为本发明的颗粒凸起结构的示意图。

具体实施方式

下面结合附图来说明本发明。

如附图1-2所示，本发明所述的一种防着板自动拆换溅镀机，包含机架，机架内设有溅镀源1、输送台2和工作台3，工作台3设置在输送台2上，输送台2带动工作台3移动切换工位，溅镀源1设置在工作台3的上方，输送台2的两侧均设置有防着板自动拆换组件，输送台2两侧的下部均设置有避让结构4。

所述防着板自动拆换组件包含升降板11、升降机构12、拆换板和横移机构13；所述升降机构12带动升降板11升降，横移机构13设置有移动座14，横移机构13带动移动座14沿横向移动；所述拆换板具有安装部15和拼接部16，安装部15安装固定在移动座14上，拼接部16用于与升降板11拼接。