[发明专利]一种大气压辉光放电离子源装置有效
申请号: | 201810863960.9 | 申请日: | 2018-08-01 |
公开(公告)号: | CN110797252B | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 汪正;彭晓旭 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10 |
代理公司: | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人: | 曹芳玲;张力允 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 大气压 辉光 放电 离子源 装置 | ||
1.一种大气压辉光放电离子源装置,其特征在于,包括:
第一T型三通阀和第二T型三通阀;
设置在所述第一T型三通阀上的大气压辉光放电发生区,所述大气压辉光放电发生区包括第一耐高温石英管、与所述第一耐高温石英管不同尺寸的第二耐高温石英管以及空心电极和空心对电极,所述空心电极内嵌于尺寸相匹配的所述第一耐高温石英管中,且所述第二耐高温石英管将内嵌有所述空心电极的所述第一耐高温石英管与所述空心对电极固定成为一体;
向所述大气压辉光放电发生区输入载气以及待分析样品并设置在所述第二T型三通阀的载气/样品输入端;
用于对所述大气压辉光放电发生区进行冷却的冷却系统;
接收并传输所述大气压辉光放电区生成的电离产物的离子传输通道;以及
为所述大气压辉光放电发生区放电提供电能的电源系统。
2.根据权利要求1所述的大气压辉光放电离子源装置,其特征在于,
所述大气压辉光放电发生区中,所述空心电极的外壁同所述第一耐高温石英管的内壁贴合。
3.根据权利要求1所述的大气压辉光放电离子源装置,其特征在于,
所述空心电极和所述空心对电极同轴。
4.根据权利要求1所述的大气压辉光放电离子源装置,其特征在于,
所述大气压辉光放电发生区采用惰性气体作为大气压辉光放电的放电介质以及样品传输载气。
5.根据权利要求1所述的大气压辉光放电离子源装置,其特征在于,
所述离子传输通道为所述大气压辉光放电发生区中的空心对电极,所述空心对电极同时作为大气压辉光放电发生区对电极以及电离产物的传输通道。
6.根据权利要求1所述的大气压辉光放电离子源装置,其特征在于,
所述第一T型三通阀采用适配尺寸的PTFE管将所述大气压辉光放电发生区固定在第一T型三通阀中靠近所述第二T型三通阀的一端。
7.根据权利要求1所述的大气压辉光放电离子源装置,其特征在于,
所述冷却系统通过向安装在所述第一T型三通阀的一端的外侧的耐高温石英管与内嵌有空心电极的耐高温石英管之间引入冷却气进行冷却。
8.根据权利要求1所述的大气压辉光放电离子源装置,其特征在于,
所述载气/样品输入端通过载气携带气体样品进入所述大气压辉光放电发生区,液体样品通过注射泵,经耐高温石英毛细管传输至所述大气压辉光放电发生区,并且所述耐高温石英毛细管通过适配尺寸的PTFE管设置于所述第二T型三通阀的一端。
9.根据权利要求1至8中任意一项所述的大气压辉光放电离子源装置,其特征在于,
所述大气压辉光放电发生区通过串接阻值为2.5~12 kΩ的稳流电阻,将空心电极与空心对电极直接接触来触发产生大气压辉光放电微等离子体。
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