[发明专利]曲率半径测量设备及其测量方法

权利要求书

1.一种曲率半径测量设备，包括：

第一基台，用于固定被测件；

测微仪，包括触头，所述触头被配置为在测量过程中保持与所述被测件的弧形表面接触，并获得所述触头沿所述触头轴向方向移动的第一位移量；

移动装置，被配置为使得所述第一基台和所述触头在相对于所述第一基台的垂直方向和水平方向上相对移动，并获得所述第一基台在所述水平方向上移动时的第二位移量；

还包括角度测量仪和旋转装置，其中，

所述旋转装置和所述触头连接，且被配置为使得所述触头在所述水平方向和所述垂直方向限定的第一平面内旋转；

所述角度测量仪被配置为获得所述触头在所述第一平面内旋转时的旋转角度；

其中，所述移动装置包括：

第二基台，与所述第一基台平行设置；

垂直升降装置，与所述第二基台连接且被配置为使得所述第二基台在所述垂直方向上移动；

水平移动装置，固定在所述第二基台上且与所述第一基台连接，且被配置为使得所述第一基台相对于所述第二基台和所述触头在所述水平方向上移动。

2.根据权利要求1所述的曲率半径测量设备，其中，所述水平移动装置包括第一丝杠和第一电机；

所述第一丝杠与所述第一基台以及所述第一电机连接；

所述第一电机被配置为使得所述第一丝杠旋转，从而带动所述第一基台在所述水平方向上移动。

3.根据权利要求2所述的曲率半径测量设备，其中，所述水平移动装置还包括光栅尺；

所述光栅尺设置在所述第一基台和所述第二基台上，且被配置为获得所述第二位移量。

4.根据权利要求1所述的曲率半径测量设备，其中，所述垂直升降装置包括第二丝杠和第二电机；

所述第二丝杠与所述第二基台以及所述第二电机连接；

所述第二电机被配置为使得所述第二丝杠旋转，从而带动所述第二基台在所述垂直方向上移动。

5.根据权利要求1所述曲率半径测量设备，其中，所述旋转装置包括轴承和第三电机；

所述轴承和所述触头连接，所述第三电机被配置为使得所述轴承旋转并带动所述触头旋转，且所述轴承的轴向垂直于所述第一平面。

6.根据权利要求5所述的曲率半径测量设备，其中，所述角度测量仪为圆光栅，所述圆光栅设置在所述轴承上。

7.根据权利要求5所述的曲率半径测量设备，还包括支柱，其中，所述轴承固定在所述支柱上，所述轴承的轴向与所述支柱的延伸方向垂直。

8.根据权利要求1-7任一项所述的曲率半径测量设备，其中，所述测微仪包括电感测微仪。

9.根据权利要求1-7任一项所述的曲率半径测量设备，其中，所述第一基台上设置有限位台和固定件，所述限位台和所述固定件用于固定所述被测件。

10.一种用于权利要求1所述的曲率半径测量设备的测量方法，包括：

将所述被测件固定于所述第一基台上；

调整所述移动装置，使得所述触头相对于所述第一基台移动到基准位置且所述触头和所述被测件的弧形表面接触；

调整所述移动装置，使得所述触头相对于所述第一基台移动N次以分别到达N个位置；

分别记录所述触头从所述基准位置移动到所述N个位置时的所述第一位移量和所述第二位移量；以及

根据N个所述第一位移量和N个所述第二位移量获得所述被测件的弧形表面的至少一部分的曲率半径；

或者：

调整所述旋转装置，使得所述触头相对于所述第一基台移动N次以分别到达N个位置；

分别记录所述触头从所述基准位置移动到所述N个位置时的所述第一位移量和所述旋转角度；以及

根据N个所述第一位移量和N个所述旋转角度获得所述被测件的弧形表面的至少一部分的曲率半径；其中，

在测量过程中，所述触头与所述被测件的弧形表面保持接触，N为大于等于1的整数。