[发明专利]成膜装置、成膜方法以及有机EL显示装置的制造方法

说明书

本发明的成膜装置包括基板保持单元和基板吸附机构，所述基板保持单元包括用于支承基板的周缘部的支承部，所述基板吸附机构设置于所述支承部的上方，用于吸附基板，所述支承部包括设置于第一方向的第一支承部件，和以与所述第一支承部件相向的方式设置于所述第一方向的第二支承部件，所述基板吸附机构包括以沿着所述第一方向延伸的方式设置于与所述第一支承部件对应的位置的第一吸附部，和以沿着第一方向延伸的方式设置于与所述第二支承部件对应的位置的第二吸附部，所述第二支承部件能够沿着与所述第一方向交差的第二方向移动。

技术领域

本发明涉及成膜装置，尤其涉及使用具有多个吸附部的基板吸附机构、使基板平坦地付着的基板支承部。

背景技术

最近，作为平板显示装置，有机EL显示装置倍受瞩目。有机EL显示装置是自发光显示器，其响应速度、视角、薄型化等特性比液晶面板显示器优异，在监视器、电视、以智能手机为代表的各种便携终端等领域正在快速地代替现有的液晶面板显示器。另外，在汽车用显示器等方面也在扩大其应用领域。

有机EL显示装置的元件具有在两个相向的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有引起发光的有机物质层这样的基本构造。有机EL显示装置元件的有机物质层以及电极层，通过经由形成有像素图案的掩模将蒸镀材料向置于真空腔室上部的基板(的下表面)蒸镀而形成，所述蒸镀材料通过加热设置于成膜装置的真空腔室的下部的蒸镀源而被蒸发出来。

在这样向上蒸镀方式的成膜装置的真空腔室内，基板由基板支架进行保持，为了不对形成于基板(的下表面)的有机物质层/电极层造成损伤，利用基板支架的支承部支承基板的下表面周缘。在这种情况下，随着基板的尺寸增大，没有由基板支架的支承部支承的基板的中央部，因基板的自重而发生挠曲，成为降低蒸镀精度的主要原因。

作为减少因基板的自重而引起的挠曲的方法，研究了使用静电吸盘的技术。即，在基板的上部设置静电吸盘，使静电吸盘吸附由基板支架的支承部支承的基板的上表面，利用静电吸盘的静电引力牵拉基板的中央部，由此能够减少基板的挠曲。

发明内容

但是，放置于以往的基板支架的支承部上的基板，由于自重基板的中央部将将发生挠曲，因此由基板支架的支承部支承的基板，以基板的周缘部比基板的中央部更靠近静电吸盘的状态被支承。在该状态下，若使平板形状的静电吸盘与基板接近，则由基板支架的支承部支承的基板的周缘部几乎同时从静电吸盘接受静电引力而被静电吸盘吸附，基板的中央部最晚接受静电引力。

即，基板向静电吸盘的吸附从基板的周缘部朝向基板的中央部进行，因此即使静电吸盘与基板充分接近，基板也不会被平坦地吸附在静电吸盘上，在基板的中央部将残留基板与静电吸盘的间隙，以在基板上残留皱纹的形状吸附在静电吸盘上。

特别是，由于支承基板的下表面的基板支架的支承部在与基板面平行的方向被固定，因此在基板被静电吸盘吸附时，存在因基板的中央部的挠曲而产生的皱纹在基板的周缘部不能够充分伸展的问题。

本发明的目的在于提供能够利用静电吸盘那样的基板吸附机构以平坦形状吸附基板的成膜装置、成膜方法以及使用这样的成膜方法制造有机EL显示装置的方法。

本发明的第一方案的成膜装置，包括基板保持单元和基板吸附机构，所述基板保持单元包括用于支承基板的周缘部的支承部，所述基板吸附机构设置于所述支承部的上方，用于吸附基板，所述支承部包括设置于第一方向的第一支承部件，和以与所述第一支承部件相向的方式设置于所述第一方向的第二支承部件，所述基板吸附机构包括以沿着所述第一方向延伸的方式设置于与所述第一支承部件对应的位置的第一吸附部，和以沿着第一方向延伸的方式设置于与所述第二支承部件对应的位置的第二吸附部，所述第二支承部件能够沿着与所述第一方向交差的第二方向移动。