[发明专利]一种阳极氧化法制备介孔纳米片钨化碳薄膜的方法

权利要求书

1.一种阳极氧化法制备介孔纳米片碳化钨薄膜的方法，所述方法包括：

(1)以经前处理去除油脂后的金属钨片为阳极，以金属钛片为阴极，保持阳极和阴极的距离为1～3cm，在电解液中，于5～30V、10～90℃阳极氧化条件下，恒压氧化0.5～4h；所述电解液由浓盐酸、去离子水混合配制而成，浓盐酸占混合溶液体积百分比为2～20％；

(2)取出金属钨片，去离子水冲洗，干燥获得由纳米片构成的三氧化钨薄膜前驱体；

(3)将步骤(2)所得前驱体置于 高温管式炉中，在甲烷和氢气气流比140sccm：60sccm～60sccm：140sccm的混合气氛中，恒温600～800℃还原碳化2～4h后，自然冷却，即得所述介孔纳米片碳化钨薄膜。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于所述金属钨片的尺寸为10×10mm，厚度为0.08mm。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于所述金属钛片的尺寸为20×20mm，厚度为0.02mm。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于所述前处理方法如下：将金属钨片依次在丙酮、异丙醇、乙醇、去离子水中超声清洗20min，最后用去离子水清洗并烘干。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于所述甲烷和氢气气流比为140sccm：60sccm。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于所述方法如下：

(1)以经前处理去除油脂后的金属钨片为阳极，以金属钛片为阴极，保持阳极和阴极的距离为2cm，在电解液中，于10V、50℃阳极氧化条件下，恒压氧化2h；

(2)取出金属钨片，去离子水冲洗，干燥获得由纳米片构成的三氧化钨薄膜前驱体；

(3)将步骤(2)所得前驱体置于 高温管式炉中，在甲烷和氢气体积比140sccm：60sccm的混合气氛中，恒温650℃还原碳化2h后，自然冷却，即得所述介孔纳米片碳化钨薄膜。