[发明专利]带有对准装置的线宽压窄模块及准分子激光器在审
| 申请号： | 201810842600.0 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN108963727A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王倩;李少华;赵江山;周翊;吴劲松;辛茗;江锐;杨军红 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/00 | 分类号： | H01S3/00;G02B7/00;G02B27/42;G02B27/09 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 线宽 可见激光 放电腔 准分子激光器 反射 对准装置 对准 角度调节装置 可见光激光器 输出耦合镜 垂直反射 光谱输出 快速安装 原路返回 最大能量 棱镜组 光轴 同轴 穿过 输出 保证 | ||
1.一种带有对准装置的线宽压窄模块，其特征在于，包括：
可见光激光器，用于产生可见激光；
棱镜组，用于将所述可见激光进行反射，产生反射可见激光；
角度调节装置，用于调节所述线宽压窄模块的角度，使所述反射可见激光与放电腔的光轴同轴，并穿过所述放电腔被输出耦合镜垂直反射按原路返回，以完成所述线宽压窄模块与所述放电腔的对准。
2.根据权利要求1所述的带有对准装置的线宽压窄模块，其特征在于，还包括光栅，所述光栅与所述棱镜组配合进行准分子激光器光谱的控制及选择。
3.根据权利要求1所述的带有对准装置的线宽压窄模块，其特征在于，还包括半反半透镜、相机及观测器；
所述半反半透镜设置于所述可见光激光器与所述棱镜组之间，所述可见激光经所述输出耦合镜、所述棱镜组及所述半反半透镜后入射到所述相机上，在所述观测器上形成光斑。
4.根据权利要求3所述的带有对准装置的线宽压窄模块，其特征在于，所述相机为CCD相机。
5.根据权利要求1所述的带有对准装置的线宽压窄模块，其特征在于，在所述线宽压窄模块的前端及所述输出耦合镜后端设置有狭缝，所述狭缝用于对光束的发散角进行压制。
6.根据权利要求2所述的带有对准装置的线宽压窄模块，其特征在于，所述线宽压窄模块包括标准具，所述标准具置于所述棱镜组和所述光栅之间，用于对光束进行光谱控制。
7.一种准分子激光器，其特征在于，包括如权利要求1-6任一项所述的线宽压窄模块。
8.一种线宽压窄模块与放电腔对准的方法，其特征在于，通过如权利要求1-6任一项所述的线宽压窄模块实现，包括以下步骤：
可见光激光器产生可见激光；
棱镜组将所述可见激光进行反射，产生反射可见激光；
角度调节装置调节所述线宽压窄模块的角度，使所述反射可见激光与放电腔的光轴同轴，并穿过所述放电腔被输出耦合镜垂直反射按原路返回，以完成所述线宽压窄模块与所述放电腔的对准。
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