[发明专利]药液供给装置、基板处理装置、药液供给方法、以及基板处理方法

说明书

本发明的目的在于供给有效地除去了颗粒的高温的药液。药液供给装置是将药液供给至预定的供给对象的药液供给装置，其具备：供给流路，其一端与常温的药液的供给源连接，并且另一端与供给对象连接，从供给源向供给对象引导药液；第一过滤器，其除去从供给源导入供给流路的常温的药液中的颗粒；加热部，其加热通过了第一过滤器的药液；以及第二过滤器，其除去被加热部加热并在供给流路朝向供给对象流动的高温的药液中的颗粒，第一过滤器为亲水性过滤器，第二过滤器为疏水性过滤器。

技术领域

本发明涉及进行基板的处理的药液供给技术、基板处理技术。作为处理对象的基板包括例如，半导体晶圆、液晶显示装置用玻璃基板、等离子显示器用基板、FED(FieldEmission Display)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、磁光盘用基板、光掩膜用基板、陶瓷基板、太阳能电池用基板等基板。

背景技术

已知如下技术：为了减少附着于基板的颗粒，使药液循环，通过设置于循环管路的过滤器除去药液中的颗粒。

作为这样的技术，专利文献1公开了如下技术：使通过了过滤器的药液的一部分从喷嘴吐出，并且将剩余的药液返回过滤器的一次侧，在后续的吐出动作时，将返回的该剩余的药液、和从供给源新补充的药液再次利用过滤器过滤。

另外，专利文献2公开了如下技术：在喷嘴停止排出药液的期间，在设有过滤器的循环管路中使药液循环。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015－072985号公报

专利文献2：日本特开2013－211525号公报

发明内容

发明所要解决的课题

随着形成于基板的器件的微细化推进，作为除去对象的颗粒的大小减小，因此，需要将过滤器的孔径也减小。当过滤器的孔径减小时，药液难以溶于过滤器(过滤器的润湿性降低)，因此，优选通过使用亲水性过滤器来抑制过滤器的润湿性降低，从而实现过滤效率的维持。

当利用亲水性过滤器过滤高温的药液时，有时药液中的颗粒增加，本申请的发明人通过实验结果得知，颗粒的增加是由于过滤器的使用。即使在使高温的药液如专利文献1、2的技术那样循环并利用过滤器过滤的情况下，也会发生该问题。

本发明是为了解决这样的问题而完成的，其目的在于提供一种能够供给高效地除去了颗粒的高温的药液的技术。

用于解决课题的技术方案

为了解决上述课题，方案1是一种药液供给装置，其将药液供给至预定的供给对象，而且具备：供给流路，其一端与常温的上述药液的供给源连接，并且另一端与上述供给对象连接，且从上述供给源向上述供给对象引导上述药液；第一过滤器，其设于上述供给流路，且除去从上述供给源导入上述供给流路的常温的上述药液中的颗粒；加热部，其在上述供给流路中的比上述第一过滤器靠上述供给对象侧的部分加热上述药液；以及第二过滤器，其设于上述供给流路中的比上述第一过滤器靠上述供给对象侧的部分，且除去被上述加热部加热并在上述供给流路朝向上述供给对象流动的高温的上述药液中的颗粒，上述第一过滤器为亲水性过滤器，上述第二过滤器为疏水性过滤器。

方案2根据方案1所述的药液供给装置，其中，上述供给流路还具备回流配管，上述回流配管在比上述加热部靠上述供给源侧的部分从上述供给流路分支，并在比该分支出的部分靠上述供给源侧再次与上述供给流路连接，上述第一过滤器设于上述供给流路的一部分和上述回流配管所形成的环状的循环流路。

方案3根据方案2所述的药液供给装置，其中，还具备阀，上述阀能够在比上述加热部靠上述供给源侧对上述供给流路中的比上述循环流路靠上述供给对象侧的部分所形成的流路进行开闭。