[发明专利]集流量传感器为一体的可降气体流速的MEMS缓冲结构有效
| 申请号： | 201810841146.7 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN108982905B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 董林玺;徐忠仁 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01P5/00 | 分类号： | G01P5/00;G01P13/02;G01L1/00;G01N33/00 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 周希良 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 流量传感器 一体 降气 流速 mems 缓冲 结构 | ||
【权利要求书】：
1.集流量传感器为一体的可降气体流速的MEMS缓冲结构，其特征在于：在气体传感器薄膜外围设有多个均匀分布的铂金属片，其用于气体流量检测；
在两相邻的铂金属片之间有障碍物，所述的障碍物围绕气体传感器薄膜也呈均匀分布，其高度大于铂金属片高度，用于降低气体的流速；
所述的铂金属片有八片，分为四组，两两相对的金属片构成一组，通过这四组铂金属片两端电压差的正负值可判断出气体流向的变化；
通过测量迎流面相邻的两铂金属片的电压差可得到气体进入气体传感器前的流量，通过测量背流面相邻的两铂金属片的电压差可得到气体进入气体传感器经障碍物降速后的流量。
2.根据权利要求1所述的集流量传感器为一体的可降气体流速的MEMS缓冲结构，其特征在于：所述的障碍物选材为氧化硅。
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