[发明专利]两路光路的光学镜头在审

专利信息
申请号: 201810840584.1 申请日: 2018-07-27
公开(公告)号: CN108663779A 公开(公告)日: 2018-10-16
发明(设计)人: 贺云波;王波;刘青山;刘凤玲;陈桪 申请(专利权)人: 广东阿达智能装备有限公司
主分类号: G02B13/00 分类号: G02B13/00;G03B15/02;H04N5/225
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 李丹
地址: 528251 广东省佛山市南海区狮山镇南*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 物镜 光路 传递单元 光学镜头 两路 传递 焊点 第二物件 焊点位置 焊头吸嘴 晶圆位置 相对设置 晶圆
【说明书】:

发明涉及一种两路光路的光学镜头,包括第一物镜、第二物镜和CCD相机,第一物镜与第二物镜相对设置,第一物镜能够与焊头吸嘴上的晶圆对应,第二物镜能够与焊点对应,第一物镜与CCD相机之间设有第一光路传递单元,用于将第一物镜所成的物象传递至CCD相机,第二物件与CCD相机之间设有第二光路传递单元,用于将第二物镜所成的物象传递至CCD相机,CCD相机能够分别获得第一光路传递单元传递的物象和第二光路传递单元传递的物象。两路光路的光学镜头的一次位移即可完成两个物象的获取过程,提高了获取两个物象的效率,从而大大提高了晶圆位置和焊点位置识别对比的时间,进而提高了识别对比的效率。

技术领域

本发明涉及光学领域,特别是涉及一种两路光路的光学镜头。

背景技术

基于半导体行业加工精度较高的特点,在倒装之后固晶的过程中,需要对焊头吸嘴所吸取晶圆的位置和焊点位置进行较准确的定位,以达到较高的焊接质量。若晶圆位置相对于焊点位置存在偏移,则需要通过调整焊头吸嘴补偿,以满足焊接质量要求。在半导体行业,一般通过相机对晶圆位置和焊点位置进行识别,以保障获得较好的封装效果。但是一般的相机对晶圆位置和焊点位置识别对比的效率较低。

发明内容

基于此,有必要提供一种两路光路的光学镜头,以较高效率实现晶圆位置与焊点位置的识别对比。

一种两路光路的光学镜头,包括第一物镜、第二物镜和CCD相机,所述第一物镜与所述第二物镜相对设置,所述第一物镜能够与焊头吸嘴上的晶圆对应,所述第二物镜能够与焊点对应,所述第一物镜与所述CCD相机之间设有第一光路传递单元,用于将所述第一物镜所成的物象传递至所述CCD相机,所述第二物件与所述CCD相机之间设有第二光路传递单元,用于将所述第二物镜所成的物象传递至所述CCD相机,所述CCD相机能够分别获得所述第一光路传递单元传递的物象和所述第二光路传递单元传递的物象。

上述方案提供了一种两路光路的光学镜头,当两路光路的光学镜头移动到焊头吸嘴与焊点之间后,所述第一物镜能够获取晶圆对应的物象,所述第二物镜能够获取焊点对应的物象。所述第一物镜获取的物象通过第一光路传递单元传递至CCD相机,所述第二物镜获取的物象能够通过第二光路传递单元传递至CCD相机。两路光路的光学镜头的一次位移即可完成两个物象的获取过程,提高了获取两个物象的效率。CCD相机分别接收以上两个物象后,将相关数据信息传递给控制单元,控制单元将两个物象进行对比,判断所述晶圆与焊点位置是否对应准确,若晶圆与焊点位置存在偏差则控制焊头吸嘴移动补偿,从而提高焊接质量和封装效果。通过缩减获取两个物象的时间,从而大大提高了晶圆位置和焊点位置识别对比的时间,进而提高了识别对比的效率。

在其中一个实施例中,所述第一物镜的中心与所述第二物镜的中心位于同一竖直轴线上,所述第一光路传递单元和所述第二光路传递单元分别位于所述竖直轴线的两侧,所述第一物镜与所述第二物镜之间设有直角棱镜,所述直角棱镜能够将所述第一物镜获取的物象反射至所述第一光路传递单元,且也能够将所述第二物镜获取的物象反射至所述第二光路传递单元。

在其中一个实施例中,所述第一光路传递单元和所述第二光路传递单元共用一个第一双胶合凸透镜,所述第一双胶合凸透镜与所述CCD相机对应设置,所述第一光路传递单元传递的物象通过所述第一双胶合凸透镜后传递至所述CCD相机,所述第二光路传递单元传递的物象通过所述第一双胶合凸透镜后传递至所述CCD相机。

在其中一个实施例中,所述两路光路的光学透镜还包括第一光源和第二光源,所述第一光源与所述第一物镜之间设有第一入射光传递单元,用于将所述第一光源发射的光线传递至所述第一物镜,所述第二光源与所述第二物镜之间设有第二入射光传递单元,用于将所述第二光源发射的光线传递至所述第二物镜,当需要获取焊头吸嘴上晶圆对应的物象时,所述第一光源通电,所述第二光源断电,当需要获取焊点对应的物象时,所述第二光源通电,所述第一光源断电。

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