[发明专利]基于超表面窄带反射镜的窄线宽外腔激光器

权利要求书

1.基于超表面窄带反射镜的窄线宽外腔激光器，其特征在于，包括增益芯片、准直组件和超表面窄带反射镜，其中，

所述增益芯片的一端为光出射端，用于射出信号光，该信号光经过所述准直组件准直后变为平行光垂直入射至所述超表面窄带反射镜的表面上；所述超表面窄带反射镜的表面为亚波长周期性结构的超表面；所述超表面对非目标波长进行透射和输出，对目标波长进行反射；该反射的目标波长经过所述准直组件、所述增益芯片的一端入射至所述增益芯片的另一端外侧；所述增益芯片的另一端外侧镀有增反膜，用于作为反射镜，将入射光再次反射，经过所述准直组件入射至所述超表面上；以此方式，由所述增益芯片的另一端外侧增反膜和所述超表面窄带反射镜构成谐振腔，结合所述增益芯片对目标波长的光反复进行谐振放大，最终形成激射，激射光透过所述超表面输出。

2.如权利要求1所述的基于超表面窄带反射镜的窄线宽外腔激光器，其特征在于，所述超表面上制备有一个或多个拼接的微纳图形阵列；所述微纳图形阵列为多个相同的微纳图形周期排布构成的阵列；以此方式，通过调整超表面上单个微纳图形阵列中微纳图形的尺寸和排布周期、多个微纳图形阵列的拼接，使所述超表面仅对目标波长进行反射、对非目标波长进行透射，减小谐振的带宽，实现窄带滤波。

3.如权利要求1所述的基于超表面窄带反射镜的窄线宽外腔激光器，其特征在于，还包括代替所述增益芯片的另一端外侧增反膜作为反射镜的第二反射镜，并且所述增益芯片的另一端外侧镀有增透膜、不用于作为反射镜；所述第二反射镜设置于所述增益芯片的另一端外侧；以此方式，由所述第二反射镜和所述超表面窄带反射镜构成谐振腔，结合所述增益芯片对目标波长的光反复进行谐振放大，最终形成激射，激射光透过所述超表面输出。

4.如权利要求1所述的基于超表面窄带反射镜的窄线宽外腔激光器，其特征在于，调整所述增益芯片另一端外侧的增反膜的反射率，激射光透过所述增益芯片另一端输出，不透过所述超表面输出。

5.如权利要求1-4任一所述的基于超表面窄带反射镜的窄线宽外腔激光器，其特征在于，所述增益芯片的带宽覆盖所述超表面窄带反射镜的谐振波段。

6.如权利要求1-4任一所述的基于超表面窄带反射镜的窄线宽外腔激光器，其特征在于，所述准直组件是单个准直透镜或多个准直透镜的组合。

7.如权利要求2所述的基于超表面窄带反射镜的窄线宽外腔激光器，其特征在于，所述微纳图形阵列中的微纳图形排布为四方晶格，六方晶格或者准晶格。

8.如权利要求 2所述的基于超表面窄带反射镜的窄线宽外腔激光器，其特征在于，所述微纳图形为纳米孔、纳米柱、纳米小球、纳米环或纳米棒。