[发明专利]双装载部的双面曝光机及双面曝光方法有效
| 申请号: | 201810836043.1 | 申请日: | 2018-07-26 |
| 公开(公告)号: | CN108873622B | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
| 发明(设计)人: | 汪孝军;廖平强;张胜 | 申请(专利权)人: | 中山新诺科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 刘培培 |
| 地址: | 528437 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 装载 双面 曝光 方法 | ||
本发明涉及一种双装载部的双面曝光机及双面曝光方法。包括工作台;曝光机构包括均能够沿工作台移动的第一曝光组件和第二曝光组件、并在工作台形成曝光区;装载机构包括装载台,装载台设有第一装载部和第二装载部,第一装载部和第二装载部呈间距设置,装载台能够沿工作台移动、并使第一装载部或第二装载部移动至曝光区。通过可移动的第一曝光组件和第二曝光组件的设置,曝光时,装载台移动到预设位置,使第一装载部或第二装载部位于曝光区,之后第一曝光组件和第二曝光组件移动、从而对对应的第一待曝光件或第二待曝光件进行曝光,由于同时双面曝光,避免了翻转等操作,减少了曝光流程及对位等问题,提高了曝光效率和曝光精度。
技术领域
本发明涉及双面曝光技术领域,特别是涉及一种双装载部的双面曝光机及双面曝光方法。
背景技术
传统的双面曝光机,通常采用菲林转印进行双面电路板的曝光。曝光前,需要先制作待转印图案的菲林;然后,将带有两面图案的菲林分别固定在上下两面玻璃上;接着,将待转印图案的电路板夹在上下两块玻璃之间,使用蓝紫色高亮度光源进行曝光,将线路图案转印到线路板上,完成双面曝光。而对于激光直写曝光机,通常采用单面曝光。先对电路板的其中一面进行曝光,待曝光完成后进行翻转,然后再对电路板的另一面进行曝光,最后完成对电路板的双面曝光。
然而,激光直写曝光机进行双面曝光时,需进行翻转操作,而翻转操作必然会产生翻转后进行对位的问题,不仅增加了曝光流程,同时也会因对位精度问题影响曝光精度,从而影响最终的曝光效果。
发明内容
基于此,有必要提供一种双装载部的双面曝光机及双面曝光方法。该双装载部的双面曝光机在进行曝光时无需翻转,减少曝光流程,提高曝光精度,进而提升曝光成像质量;该双面曝光方法应用于前述的双装载部的双面曝光机,曝光效率更高,且便于实现自动化操作。
其技术方案如下:
一方面,提供了一种双装载部的双面曝光机,包括工作台,工作台设有曝光通孔;曝光机构,曝光机构包括第一曝光组件和第二曝光组件,第一曝光组件和第二曝光组件分别设于工作台的两侧、并均能够沿工作台移动,第一曝光组件和第二曝光组件均移动、并在工作台形成曝光区,曝光区与曝光通孔对应设置;及装载机构,装载机构包括装载台,装载台设有第一装载部和第二装载部,第一装载部用于装载第一待曝光件,第二装载部用于装载第二待曝光件,第一装载部和第二装载部呈间距设置,装载台能够沿工作台移动、并使第一装载部或第二装载部移动至曝光区,第一曝光组件和第二曝光组件移动、并对曝光区的第一待曝光件或第二待曝光件进行曝光。
上述双装载部的双面曝光机,通过可移动的第一曝光组件和第二曝光组件的设置,曝光时,装载台移动到预设位置,使第一装载部或第二装载部位于曝光区,之后第一曝光组件和第二曝光组件移动、从而对对应的第一待曝光件或第二待曝光件进行曝光,由于同时双面曝光,避免了翻转等操作,减少了曝光流程及对位等问题,提高了曝光效率和曝光精度。
下面进一步对技术方案进行说明:
在其中一个实施例中,曝光机构还包括曝光安装架和曝光驱动器,第一曝光组件和第二曝光组件均设于曝光安装架,曝光驱动器用于驱动曝光安装架、并使曝光安装架沿工作台移动。
在其中一个实施例中,曝光机构还包括第一安装架、第二安装架、第一驱动器和第二驱动器,第一曝光组件设于第一安装架,第二曝光组件设于第二安装架,第一驱动器用于驱动第一安装架沿工作台移动,第二驱动器用于驱动第二安装架沿工作台移动。
在其中一个实施例中,装载机构还包括装载驱动器,装载驱动器用于驱动装载台、并使装载台沿工作台移动。
在其中一个实施例中,装载机构还包括锁定器,锁定器用于锁定装载台、并使第一装载部或第二装载部位于曝光区。
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