[发明专利]均匀加热的扩散炉炉体在审
| 申请号: | 201810835388.5 | 申请日: | 2018-07-26 |
| 公开(公告)号: | CN108870975A | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
| 发明(设计)人: | 姜新诚;施广博;王兆敏 | 申请(专利权)人: | 青岛晨立电子有限公司 |
| 主分类号: | F27B17/00 | 分类号: | F27B17/00;H01L21/67 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 266200 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 保温层 电阻带 炉体 炉体外壁 扩散炉 保温层内壁 均匀加热 炉体中间 体内 技术方案要点 温度均匀性 芯片加工 固定板 进气管 进气孔 均匀性 传递 | ||
1.一种均匀加热的扩散炉炉体,其特征在于:包括呈圆筒状设置的炉体外壁(1)、设置在炉体外壁(1)内侧的呈圆筒状设置的保温层(2)、设置在保温层(2)上的螺旋设置的电阻带(3)以及设置在保温层(2)上用于将电阻带(3)固定在保温层(2)上的若干固定板(4);
在保温层(2)上靠近炉体前端三分之一的部分,相邻两圈电阻带(3)之间的距离为3~25毫米,炉体中间三分之一端的相邻两圈电阻带(3)之间的距离为4~30毫米,炉体后端三分之一的部分,相邻两圈电阻带(3)之间的距离为3~25毫米;
炉体外壁(1)顶端和底端都固定连接有外径与炉体外壁(1)外径相等并且内径与保温层(2)内径相等的连接环(11),炉体外壁(1)内侧与保温层(2)外侧之间留有空腔(5),炉体外壁(1)顶部围绕炉体外壁(1)的外周均匀的设置有四根固定连接在炉体外壁(1)上并且与空腔(5)相连通的进气管(12),保温层(2)内壁上开设有若干与空腔(5)相互连通的进气孔(21)。
2.根据权利要求1所述的均匀加热的扩散炉炉体,其特征在于:所述进气孔(21)位于一圈电阻带(3)波浪状波峰的底部以及波谷的顶部,开设在同一圈电阻带(3)波峰底部和波谷顶部的进气孔(21)处于同一水平面内。
3.根据权利要求1所述的均匀加热的扩散炉炉体,其特征在于:所述电阻带(3)的材料为HRE材质。
4.根据权利要求1所述的均匀加热的扩散炉炉体,其特征在于:所述保温层(2)由陶瓷纤维材料制成。
5.根据权利要求1所述的均匀加热的扩散炉炉体,其特征在于:所述电阻带(3)上方和下方都设置有呈圆环状设置的固定板(4),固定板(4)靠近外周的部分嵌入到保温层(2)当中并且与保温层(2)固定连接在一起。
6.根据权利要求5所述的均匀加热的扩散炉炉体,其特征在于:所述固定板(4)内周靠近电阻带(3)的一侧固定连接有呈圆环状设置的卡块(41)。
7.根据权利要求6所述的均匀加热的扩散炉炉体,其特征在于:所述固定板(4)由陶瓷材料制成。
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