[发明专利]压电驱动装置及其驱动方法、机器人、电子部件输送装置

权利要求书

1.一种压电驱动装置，其特征在于，驱动被驱动部件，并具备：

压电振动体；以及

驱动电路，电气驱动所述压电振动体，

所述压电振动体具备：

触头，相对于所述被驱动部件沿着第一方向延伸并与所述被驱动部件接触；

第一压电元件，根据从所述驱动电路供给的第一驱动电压，在与所述第一方向交叉的方向上产生弯曲振动；以及

第二压电元件，根据从所述驱动电路供给的第二驱动电压，在所述第一方向上产生纵向振动，

所述压电振动体构成为所述纵向振动的共振频率高于所述弯曲振动的共振频率，

所述驱动电路将所述第一驱动电压及所述第二驱动电压的驱动频率设定为所述纵向振动的共振频率以上。

2.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述驱动电路从高于所述纵向振动的共振频率的频率起对所述驱动频率进行降频扫描来将所述驱动频率设定为所述纵向振动的共振频率以上的频率。

3.根据权利要求1或2所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述压电振动体还具备拾取电极，所述拾取电极检测所述压电振动体的振动并向所述驱动电路供给振动检测信号，

所述驱动电路根据所述振动检测信号确定所述驱动频率，

所述拾取电极配置于沿所述第一方向延伸的所述压电振动体的中心轴上的位置。

4.根据权利要求3所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述拾取电极配置于成为所述弯曲振动的节的位置。

5.一种压电驱动装置的驱动方法，其特征在于，

所述压电驱动装置具有压电振动体，

所述压电振动体具备：触头，相对于被驱动部件沿着第一方向延伸并与所述被驱动部件接触；第一压电元件，根据第一驱动电压，在与所述第一方向交叉的方向上产生弯曲振动；以及第二压电元件，根据第二驱动电压，在所述第一方向上产生纵向振动，

在所述压电驱动装置的驱动方法中，所述压电振动体构成为所述纵向振动的共振频率高于所述弯曲振动的共振频率，并且，

在所述压电驱动装置的驱动方法中，将具有所述纵向振动的共振频率以上的驱动频率的第一驱动电压及第二驱动电压供给至所述第一压电元件及所述第二压电元件。

6.一种机器人，其特征在于，具备：

权利要求1至4中任一项所述的压电驱动装置。

7.一种电子部件输送装置，其特征在于，具备：

权利要求1至4中任一项所述的压电驱动装置。

8.一种打印机，其特征在于，具备：

权利要求1至4中任一项所述的压电驱动装置。

9.一种投影仪，其特征在于，具备：

权利要求1至4中任一项所述的压电驱动装置。