[发明专利]单面区域腐蚀的夹具和腐蚀方法

权利要求书

1.一种单面区域腐蚀的夹具，其特征在于，包括：

夹具上部，其上端开口，底部设有通孔；

载片，位于所述夹具上部的下方；

O型圈组，位于所述夹具上部和所述载片之间，且位于所述通孔下方；所述O型圈组包括外部O型圈和内部O型圈，所述外部O型圈用于阻止外部水浴溶液进入，所述内部O型圈用于在其内部放置被腐蚀芯片并阻止腐蚀液腐蚀流出；

夹紧装置，用于使所述夹具上部和所述载片夹紧。

2.根据权利要求1所述的单面区域腐蚀的夹具，其特征在于，所述载片为透明载片，用于利用透光性实现终点检测。

3.根据权利要求1或2所述的单面区域腐蚀的夹具，其特征在于，还包括压力平衡环，套在所述夹具上部之外，所述夹紧装置将所述夹具上部、所述压力平衡环和所述载片夹紧。

4.根据权利要求3所述的单面区域腐蚀的夹具，其特征在于，所述压力平衡环的材质为不锈钢，所述O型圈组的材质为氟橡胶，所述腐蚀夹具上部的材质为聚四氟，所述载片的材质为石英玻璃。

5.根据权利要求1所述的单面区域腐蚀的夹具，其特征在于，所述夹具上部的底部的通孔为一个或多个，通过多个所述通孔同时腐蚀多片被腐蚀芯片。

6.根据权利要求1所述的单面区域腐蚀的夹具，其特征在于，所述夹紧装置为下列的一种：螺丝、将所述夹具上部和所述载片粘结在一起的粘胶、分别位于所述夹具上部和所述载片上的相互配合的螺纹、分别位于所述夹具上部和所述载片上的相互配合的卡扣。

7.根据权利要求1所述的单面区域腐蚀的夹具，其特征在于，还包括磁转子，用于放入所述压力平衡环内的腐蚀溶液内以实现对腐蚀溶液的搅拌。

8.根据权利要求1所述的单面区域腐蚀的夹具，其特征在于，还包括设置于被腐蚀芯片底部的表面保护膜，所述表面保护膜在对应被腐蚀芯片被保护区域的位置打孔。

9.一种采用权利要求1所述单面区域腐蚀的夹具的腐蚀方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将夹具上部倒置，放置O型圈组、被腐蚀芯片和载片；

2)将所述夹具上部和所述载片夹紧；

3)将腐蚀溶液倒入所述夹具上部之内；

4)将腐蚀夹具放入恒温水浴锅进行腐蚀。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，采用透明载片，利用透光性观察是否腐蚀结束，从而实现终点检测。