[发明专利]驱动扫描微镜进行转动的方法及其装置

权利要求书

1.一种驱动扫描微镜进行转动的方法，其特征在于，所述方法包括：

产生对扫描微镜扰动最小的锯齿波；

获取所述扫描微镜的第一位置信号；

根据所述锯齿波和所述第一位置信号产生驱动信号，以驱动所述扫描微镜进行转动；

其中，所述产生对扫描微镜扰动最小的锯齿波的步骤包括：

确定对扫描微镜的扰动最小的锯齿波的占空比为最小扰动占空比；

产生占空比为最小扰动占空比的锯齿波；

其中，所述确定对扫描微镜的扰动最小的锯齿波的最小扰动占空比的步骤包括：

产生多个不同占空比的锯齿波；

分别根据所述多个不同占空比的锯齿波驱动所述扫描微镜进行转动；

获取所述扫描微镜的第二位置信号并根据所述第二位置信号分别计算所述多个不同占空比的锯齿波对所述扫描微镜的扰动大小；

将对所述扫描微镜的扰动最小的锯齿波对应的占空比设置为最小扰动占空比。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述驱动信号驱动所述扫描微镜沿Y轴方向进行转动；当所述扫描微镜的旋转角度为0时，光源发出的入射光线构成的入射平面与扫描微镜所在平面垂直，所述Y轴方向为所述扫描微镜旋转角度为0时，所述扫描微镜所在平面上的与所述入射平面垂直的方向。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述锯齿波和所述第一位置信号产生驱动信号，以驱动所述扫描微镜进行转动的步骤是根据所述锯齿波和所述第一位置信号采用PID控制算法产生驱动信号。

4.一种驱动扫描微镜进行转动的装置，其特征在于，包括：第一控制器、第二控制器、反馈装置；

所述第一控制器用于确定对所述扫描微镜的扰动最小的锯齿波的最小扰动占空比，且所述第一控制器用于产生占空比为最小扰动占空比的锯齿波；

当所述驱动扫描微镜进行转动的系统驱动扫描微镜工作时：

所述第一控制器与所述第二控制器连接，所述第一控制器产生占空比为最小扰动占空比的锯齿波发送给所述第二控制器；

所述反馈装置与所述第二控制器连接，同时所述反馈装置与所述扫描微镜连接，所述反馈装置获取所述扫描微镜的第一位置信号发送给所述第二控制器；

所述第二控制器根据所述锯齿波和所述第一位置信号产生驱动信号，以驱动所述扫描微镜进行转动；

其中，当所述第一控制器确定对扫描微镜扰动最小的锯齿波的最小扰动占空比时：

所述第一控制器与所述扫描微镜连接，所述第一控制器产生多个不同占空比的锯齿波驱动所述扫描微镜进行转动；

所述反馈装置与所述第一控制器连接，同时所述反馈装置获取所述扫描微镜的第二位置信号发送给所述第一控制器；

所述第一控制器根据第二位置信号确定不同占空比的锯齿波对扫描微镜的扰动的大小，并将对所述扫描微镜的扰动最小的锯齿波的占空比作为最小扰动占空比。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述第二控制器为PID控制器。

6.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述反馈装置为安装于所述扫描微镜上的位置传感器。

7.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述驱动信号驱动所述扫描微镜沿Y轴方向进行转动；当所述扫描微镜的旋转角度为0时，光源发出的入射光线构成的入射平面与扫描微镜所在平面垂直，所述Y轴方向为所述扫描微镜旋转角度为0时，所述扫描微镜所在平面上的与所述入射平面垂直的方向。