[发明专利]涂布喷嘴头和具有该涂布喷嘴头的液体涂布装置

说明书

本发明提供能够高速且稳定地对高粘度液体材料的涂布进行控制的位移放大机构和具有该位移放大机构的液体涂布装置。使用一种液体涂布装置，该液体涂布装置包含：排出液体材料的喷嘴孔；对上述喷嘴孔供给液体材料的供给流路；与上述供给流路内的液体抵接并进行往复的柱塞；对上述柱塞赋予位移的位移放大机构；以及对上述位移放大机构赋予位移的致动器，上述位移放大机构与上述致动器的接触部中的至少任意一方是曲面。

技术领域

本发明涉及涂布喷嘴头和具有该涂布喷嘴头的液体涂布装置。特别涉及排出高粘度液体的涂布喷嘴头和具有该涂布喷嘴头的液体涂布装置。

背景技术

公知有通过柱塞的往复动作而排出液体材料的装置。例如专利文献1所示的喷射型的液体涂布装置。

近年来，从提高生产性的观点来看，要求涂布作业的高速性。在该类型的液体涂布装置中，进一步增加一定时间内的排出次数的要求提高。因此，需要使液体涂布装置的柱塞高速进行往复动作。

作为用于使柱塞进行往复动作的驱动源，大多使用马达、空气、压电元件等致动器。压电元件能够进行高速动作。但是，其位移量较小，因此，一般与位移放大机构组合而增大位移量来进行使用。例如，公知有专利文献2所记载的技术。

下面，参照图1～图4对使用该位移放大机构和压电元件的现有的液体涂布装置进行说明。

主视图的图1中示出现有的液体涂布装置。图2中示出现有的液体涂布装置的排出部的剖视图。液体涂布装置1将排出液滴65从喷嘴孔60排出。液体涂布装置1具有与喷嘴孔60连通且供给液体材料的供给流路52、前端部在供给流路52内进行往复动作的柱塞12a、使柱塞12a进行往复动作的致动器2a、位移放大机构3a。

利用左右对称地配置致动器2a且下部连结有柱塞12a的可弹性变形的U字状构件5、6、7、8、9构成位移放大机构3a。在图3中，对柱塞12a的上升时的动作进行说明。在图4中，对柱塞12a的下降时的动作进行说明。致动器2通过作用使U字状构件5、6、7、8、9的两端部分开的力，使柱塞12向上方向移动。相反，致动器2a通过作用使U字状构件5、6、7、8、9的两端部接近的力，使柱塞12a向下方向移动。将其作为特征。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-314640号公报

专利文献2：日本特开2015-051399号公报

发明内容

发明要解决的课题

为了排出高粘度液体材料，需要以较大位移量对柱塞12进行高速驱动。

在现有的位移放大机构3a中，通过使U字状构件5、6、7、8、9进行弹性变形，使柱塞12a在上下方向上进行往复动作。为了确保必要的位移量，需要降低U字状构件8、9的刚性。与此相伴，固有频率降低，在提高柱塞12的位移响应速度时存在极限。

因此，通过相对于致动器2的位移而增大位移放大机构3a的位移放大率，能够增大柱塞12a的位移量，但是，很难同时实现高速驱动。

本发明解决这种现有课题，其目的在于，提供能够高速且稳定地对高粘度液体材料的涂布进行控制的位移放大机构、具有该位移放大机构的涂布喷嘴头和具有该涂布喷嘴头的液体涂布装置。

用于解决课题的手段

为了实现上述目的，使用一种液体涂布装置，该液体涂布装置包含：排出液体材料的喷嘴孔；对上述喷嘴孔供给液体材料的供给流路；与上述供给流路内的液体抵接并进行往复的柱塞；对上述柱塞赋予位移的位移放大机构；以及对上述位移放大机构赋予位移的致动器，上述位移放大机构与上述致动器的接触部中的至少任意一方是曲面。

发明效果