[发明专利]用于能变化地影响射线束的波前的设备

说明书

本发明涉及一种用于能变化地影响射线束的波前的设备，其具有平面镜(1)以及调整和保持装置(10)，该平面镜具有对称轴线(A)，调整和保持装置具有台座(2)，台座与平面镜(1)的周面(1.3)固定地连接，并且台座居中地贴靠在平面镜(1)的背侧(1.2)上。存在有套管(3)，其能够沿着对称轴线(A)在台座(2)中被线性调节，并且经由膜片弹簧(8)一方面与台座(2)固定地连接，并且另一方面与类似冠状的调节元件(5)固定地连接。类似冠状的调节元件(5)具有冠齿，冠齿作用到与平面镜(1)连接的保持压板(6)上并使保持压板变形，从而将与变形相对应的力输入到平面镜(1)中以使该平面镜变形。

技术领域

本发明涉及一种具有平面镜以及调整和保持装置的设备，平面镜保持在该调整和保持装置中，并且它的起光学作用的表面能够通过对调整和保持装置的调整元件的操作而有针对性地发生变形。利用这种设备可以影响射线束，以便补偿射线束的成像误差(像差)，成像误差由光学系统的一个或多个光学元件促成，并且其可以总计地作为波前误差被检测到。

背景技术

波前误差可以尤其以泽尼克多项式来描述并表示。它们可以例如用波前像差计来检测。波前误差在此可以由单个的成像误差促成，或者可以由光学系统的单个或多个光学元件的不同的成像误差的叠加促成。通常，各个光学元件具有对系统的成像误差支配性的影响，并且由此所引起的波前具有对此是典型的显型(Erscheinungsbild)，通过其中一个光学元件的或为了该目的而附加地在系统中布置的镜的表面可以抵消成像误差。

为了抵消成像误差，由现有技术公知了大量的解决方案，其使用到平面光学器件(通常是镜)的有针对性的表面变形。基本上，这些表面变形由于在哪里将力输入到平面光学器件中而有所不同。在这些解决方案的一部分中，将力输入在平面光学器件的周面上或输入在邻接周面的边缘区域中。在其他的解决方案中，将力沿着平面光学器件的中间或对称轴线或从其附近输入。

利用根据US 2012/0275041 A1的校正设备可以在光学仪器内部校正已知了成像误差的原点。为此，将可变形的镜引入到该布置的的光路中，沿着该光路传播电磁辐射的射线。在可变形的镜的圆周边缘上施加力并导入到镜中，从而使该镜依赖于其轮廓以及力导入的方位以及所导入的力的矢量(数值、方向)而发生变形。通过这样引起的镜变形并且镜由此所出现的局部改变了的反射特性，由于光程不同，而能够实现对出现的波前误差的校正。

具体而言，在上述的US 2012/0275041 A1中提出的是，依赖于所要校正的图像误差地选择镜的轮廓，例如选择圆形，以便校正焦点位置，或选择椭圆形，以便校正焦点位置和像散性。因此，尽管作用在圆周线上的力相同，但根据力输入距镜的中点的间距而定地，有局部大小不同的弯曲力矩被输入到表面上。作为用于进行力输入的器件而提出的是，具有相同的轮廓的镜的中间板经由环形件与镜的圆周边缘连接，并且例如借助压电执行器居中地将力导入到中间板中，该力然后作用在镜的圆周上。为了使力作用沿着镜的圆周有差异而提出的是，使中间板在其厚度方面有差异地实施，或者/并且将力偏离中心地导入到中间板中。在该解决方案中，可以在镜中产生沿着圆周有大小不同的弯曲力矩。弯曲力矩相互间的比率利用镜的轮廓的设计来预设，并且因此不再可变。

由US 7 229 178 B1公知有一种可变形的镜，其圆形或椭圆形的镜板可以经由靠内的(较小的)和靠外的(较大的)环形的撑托来抛物线状地弯曲。为此，镜被容纳在环形的撑托之间。为此所需的力经由机械的调整元件导入。调整元件直接或间接地经由杠杆作用到其中一个环形的撑托上。经由平坦的且平行的环形的撑托的导入总是相对镜的对称轴线置于中央地进行。以此仅能够影响抛物线状的表面的参数。在此，没有局部差异化的力输入也是可能的。

在由DE 601 16 322 T2公知的设备中，同样借助将力导入到镜上来补偿像差。为了进行力导入，可以存在有至少一个主动的调整元件和两个所谓的力杆。这些力杆分别以其端部地分别经由变形元件与镜连接，以此逐点地将相同的力导入到镜中。逐点地差异化的力输入是不可能的。