[发明专利]航天火工分离用MoS2 有效
申请号: | 201810820415.1 | 申请日: | 2018-07-24 |
公开(公告)号: | CN108950550B | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 王贺;黎焕明;易培云;张頔;彭林法;来新民 | 申请(专利权)人: | 首都航天机械有限公司;上海交通大学 |
主分类号: | C23C28/04 | 分类号: | C23C28/04;C23C14/34;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/35 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 蒋亮珠 |
地址: | 100076 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 航天 工分 mos base sub | ||
1.一种航天火工分离用MoS2/GIC多层复合固体润滑涂层,其特征在于,该涂层包括设置在基片上的金属打底层和设置在金属打底层上的多层交替层或者梯度过渡层,其中多层交替涂层从打底层向上依次由GIC层和MoS2层交替组成,梯度过渡涂层从打底层向上依次由GIC层,过渡层以及MoS2层组成,多层复合涂层的表面均为MoS2层;
所述的MoS2层中掺有包括Ti,Nb,Pb,Cr,Zr,Au中的一种或几种金属,金属含量为1wt%-20wt%,可以有效地抑制柱状晶的生长,提高涂层致密性;
所述的GIC层中掺有少量金属Cr,Cr含量为0wt%-20wt%,可以降低涂层内应力,减少涂层内部裂纹的产生。
2.根据权利要求1所述的一种航天火工分离用MoS2/GIC多层复合固体润滑涂层,其特征在于,所述的多层交替涂层由若干个涂层单元组成,每个单元包括一层GIC层和一层MoS2层,涂层单元总数为1-20,其中单个涂层单元内MoS2层与GIC层的厚度比为0.1-10。
3.根据权利要求1所述的一种航天火工分离用MoS2/GIC多层复合固体润滑涂层,其特征在于,所述的梯度过渡涂层中的过渡层是GIC和MoS2的复合层,从下至上涂层中GIC的含量由100wt%递减至0wt%,MoS2的含量由0wt%递增至100wt%,涂层表层为MoS2层。
4.一种如权利要求1~3任一所述的航天火工分离用MoS2/GIC多层复合固体润滑涂层的制备方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
1)基片表面预处理:将金属基片置于乙醇,丙酮中进行超声清洗并烘干;
2)沉积金属打底层:在预处理后的金属基片上沉积金属打底层;
3)沉积多层复合涂层:在金属打底层表面沉积多层交替涂层或者梯度过渡涂层。
5.根据权利要求4所述的一种航天火工分离用MoS2/GIC多层复合固体润滑涂层的制备方法,其特征在于,所述的金属打底层厚度为20-200nm,沉积时间为10-40min;所述的多层复合涂层厚度为0.1-2μm,沉积时间为10-300min。
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