[发明专利]晶圆传送盒的校准系统及其校准方法

权利要求书

1.一种晶圆传送盒的校准系统，其特征在于，该晶圆传送盒的校准系统包括：

一第一晶圆传送盒，定义一第一空腔，其中该第一空腔是配置以存放一第一晶圆于一第一晶圆位置；

一第二晶圆传送盒，定义一第二空腔，其中该第二空腔是配置以存放一第二晶圆于一第二晶圆位置，该第二晶圆传送盒垂直堆叠于该第一晶圆传送盒上；

多个光发射器，位于该第二晶圆传送盒的一顶面上，所述多个光发射器包含多个第一光发射器沿位于该第二晶圆传送盒的一进入轴线的一第一侧的一第一轴线排列，该第二晶圆传送盒的该进入轴线水平分开该第二空腔，所述多个光发射器包含多个第二光发射器沿位于该第二晶圆传送盒的该进入轴线的一第二侧的一第二轴线排列；

多个光侦测器，位于该第一晶圆传送盒的一底面上，所述多个光侦测器包含多个第一光侦测器沿位于该第一晶圆传送盒的一进入轴线的一第一侧的一第一轴线排列，该第一晶圆传送盒的该进入轴线水平分开该第一空腔，所述多个光侦测器包含多个第二光侦测器沿位于该第一晶圆传送盒的一进入轴线的一第二侧的一第二轴线排列，其中所述多个光侦测器是配置以产生一校准数据，其中该校准数据指出该第一晶圆和该第二晶圆是否分别位于该第一晶圆位置和该第二晶圆位置；

多个贯通孔，位于该第一晶圆传送盒的一顶面上和该第二晶圆传送盒的一底面上，其中所述多个贯通孔包含多个第一贯通孔沿位于该第一晶圆传送盒和该第二晶圆传送盒的该进入轴线的该第一侧的该第一轴线排列，所述多个贯通孔包含多个第二贯通孔沿位于该第一晶圆传送盒和该第二晶圆传送盒的该进入轴线的该第二侧的该第二轴线排列，其中所述多个第一光发射器、所述多个第一光侦测器和所述多个第一贯通孔相互垂直对齐，所述多个第二光发射器、所述多个第二光侦测器和所述多个第二贯通孔相互垂直对齐；以及

一处理器，配置以依据该校准数据，判断该第一晶圆和该第二晶圆是否是分别位于该第一晶圆位置和该第二晶圆位置。

2.根据权利要求1所述的晶圆传送盒的校准系统，其特征在于，其中：

该处理器是更进一步地配置以依据该校准数据判断该第一晶圆和该第二晶圆的至少一者是否是不在该空腔内的该第一晶圆位置和该第二晶圆位置；以及

传送一指示信号予一机器手臂，以移动该第一晶圆和该第二晶圆的至少一者。

3.根据权利要求1所述的晶圆传送盒的校准系统，其特征在于，所述多个第一光发射器和所述多个第二光发射器在该第二晶圆传送盒的该进入轴线的两侧为相同数量，所述多个第一光侦测器和所述多个第二光侦测器在该第一晶圆传送盒的该进入轴线的两侧为相同数量。

4.根据权利要求3所述的晶圆传送盒的校准系统，其特征在于：

所述多个第一光发射器包含五个光发射器；

所述多个第二光发射器包含五个光发射器；

所述多个第一光侦测器包含五个光侦测器；以及

所述多个第二光侦测器包含五个光侦测器。

5.根据权利要求4所述的晶圆传送盒的校准系统，其特征在于，其中于该进入轴线的两侧上，仅第二与第三最靠近该第一空腔的一后壁的所述光侦测器侦测到该第一晶圆及该第二晶圆的至少一者时，该处理器是配置以判断该第一晶圆及该第二晶圆的至少一者是否是位于该第一晶圆位置及该第二晶圆位置。

6.根据权利要求1所述的晶圆传送盒的校准系统，其特征在于，所述多个光发射器包含多个激光发射器，所述多个光侦测器包含多个激光侦测器。