[发明专利]一种工件缺陷检测系统

权利要求书

1.一种工件缺陷检测系统，其特征在于，包括：

磁场产生装置，用于向被检测工件产生磁矢量在空间旋转的磁场；

第一传感器，用于以偏振光感应所述被检测工件上磁场分布，并将磁场强度分布对应记录为光强分布图像；

第二传感器，用于测量所述被检测工件上分别在三个正交方向上的磁场强度并对应记录为电信号；

处理装置，用于将测量的所述光强分布图像输出显示，并根据所述第二传感器记录的电信号波形计算所述被检测工件上缺陷的位置及深度信息。

2.根据权利要求1所述的工件缺陷检测系统，其特征在于，所述第一传感器包括光源、第一偏振元件、反光元件、介质膜、反射面、第二偏振元件和成像器件；

所述第一偏振元件用于将所述光源发出的光转换为偏振光；

所述反光元件用于将由所述第一偏振元件出射的光反射至所述介质膜，光经过所述介质膜后入射到所述反射面；

所述成像器件用于接收由所述反射面反射回的光依次经过所述介质膜、所述第二偏振元件后的光，记录形成光强分布图像。

3.根据权利要求2所述的工件缺陷检测系统，其特征在于，所述第一偏振元件与所述介质膜、所述反射面位于相互垂直的方向，所述反光元件以反射面与所述第一偏振元件出射光的方向的夹角为45度设置。

4.根据权利要求2所述的工件缺陷检测系统，其特征在于，所述磁场产生装置位于被检测工件一侧，所述第一传感器和所述第二传感器位于所述被检测工件另一侧，所述第一传感器的所述介质膜、所述反射面朝向所述被检测工件。

5.根据权利要求1所述的工件缺陷检测系统，其特征在于，所述第一传感器、所述第二传感器并排设置在同一盒体内。

6.根据权利要求5所述的工件缺陷检测系统，其特征在于，与所述第一传感器连接的电压传感数据线、磁光传感数据线和交流电源接线向盒体外引出；

在所述盒体外侧对应所述第一传感器的位置设置有电源开关、暂停按钮以及电流调节按钮；

在所述盒体外侧对应所述第二传感器的位置设置有连接板，通过螺钉穿过所述连接板、所述盒体板以及穿入所述第二传感器将所述第二传感器安装。

7.根据权利要求1所述的工件缺陷检测系统，其特征在于，所述磁场产生装置包括两对磁轭，其中一对磁轭间的连线与另一对磁轭间的连线交叉；

所述工件缺陷检测系统还包括与两对磁轭分别相连的、用于分别向两对磁轭通入具有预设相位差的正弦交流电的交流电源。

8.根据权利要求1-7任一项所述的工件缺陷检测系统，其特征在于，还包括：用于放置所述被检测工件的运动平台，以及用于驱动所述运动平台移动的微型工业控制机，所述运动平台为可在三维方向移动的三轴运动平台。

9.根据权利要求1-7任一项所述的工件缺陷检测系统，其特征在于，所述处理装置还用于对所述光强分布图像进行提取特征处理以及模型识别处理，而确定所述被检测工件上缺陷的种类。