[发明专利]绝缘检查装置和绝缘检查方法

权利要求书

1.一种绝缘检查装置，其特征在于，所述绝缘检查装置具备：

多个探针，其用于与形成有多个导体图案的检查对象的基板中的所述多个导体图案接触；

电源部，其经由所述多个探针向第一图案和第二图案之间输出电压，所述第一图案为所述多个导体图案中的任一导体图案，所述第二图案为所述多个导体图案中的除所述第一图案以外的任一导体图案；

放电检测部，其检测在所述第一图案和所述第二图案之间产生电火花放电和局部放电中的至少一方；

电源控制部，其在通过所述放电检测部检测到产生所述电火花放电和局部放电中的至少一方时，使所述电源部的电压输出停止或者下降；以及

强制放电部，在通过所述放电检测部检测到产生所述电火花放电和局部放电中的至少一方时，所述强制放电部使所述第一图案和所述第二图案导通。

2.根据权利要求1所述的绝缘检查装置，其特征在于，还具备开关，所述开关在与通过所述强制放电部导通的导通路径不同的位置，对为了输出所述电压而从所述电源部起到所述第一图案和所述第二图案中的至少一方为止的导电路径进行开闭，

所述电源控制部在通过所述放电检测部检测到产生所述电火花放电和局部放电中的至少一方时，通过关断所述开关而停止所述电源部的电压输出。

3.根据权利要求1或2所述的绝缘检查装置，其特征在于，

所述放电检测部使用现场可编程门阵列或者专用集成电路或者微型计算机而构成，所述微型计算机利用了实时操作系统或未利用操作系统。

4.根据权利要求1或2所述的绝缘检查装置，其特征在于，还具备判断部，该判断部基于所述第一图案和所述第二图案之间的电压和电流，判断所述第一图案和所述第二图案之间的绝缘性。

5.根据权利要求3所述的绝缘检查装置，其特征在于，还具备判断部，该判断部基于所述第一图案和所述第二图案之间的电压和电流，判断所述第一图案和所述第二图案之间的绝缘性。

6.一种绝缘检查方法，其特征在于，包括：

向第一图案和第二图案之间输出电压的电源输出工序，所述第一图案是形成有多个导体图案的检查对象的基板中的、所述多个导体图案中的任一导体图案，所述第二图案是所述多个导体图案中的除所述第一图案以外的任一导体图案；

检测在所述第一图案和所述第二图案之间产生电火花放电和局部放电中的至少一方的放电检测工序；

当检测到产生所述电火花放电和局部放电中的至少一方时，使在所述电源输出工序中进行的电压输出停止或下降的电源控制工序；

在通过所述放电检测工序检测到产生所述电火花放电和局部放电中的至少一方时，使所述第一图案和所述第二图案导通的强制放电工序。