[发明专利]一种升针方法及应用其的顶针升降装置

权利要求书

1.一种升针方法，用于通过顶针将支撑装置上的晶圆顶起，包括：

将驱动顶针上升的力调节到设定值，以减小顶针对晶圆的冲击；所述设定值为最小升针压力的1.1-1.2倍；

启动升针操作；

判断所述顶针是否升至预定高度，所述预定高度小于所述支撑装置周缘的高度；

如果是，执行将所述顶针由所述预定高度升至传输高度的步骤；

如果否，启动降针操作，然后返回执行启动升针操作的步骤，直至所述顶针升至预定高度。

2.如权利要求1所述的升针方法，在启动降针操作与返回执行启动升针操作的步骤之间还包括：

判断升针操作的次数是否达到阈值；

如果是，则对所述晶圆进行解吸附操作，然后返回执行启动升针操作的步骤；

如果否，则直接返回执行启动升针操作的步骤。

3.如权利要求1所述的升针方法，通过气缸驱动所述顶针上升或下降，驱动顶针上升的力等于所述气缸的进气压力；所述设定值小于80psi。

4.一种顶针升降装置，用于权利要求1所述升针方法，所述顶针升降装置包括：

力调节装置，用于调节驱动顶针上升的力；

位置检测装置，用于检测所述顶针是否升至预定高度；和

控制装置，与所述位置检测装置连接，用于根据所述位置检测装置的信号判断所述顶针是否升至预定高度，如果是，将所述顶针由所述预定高度升至传输高度；如果否，启动降针操作，然后返回执行启动升针操作，直至所述顶针升至预定高度。

5.如权利要求4所述的顶针升降装置，还包括驱动装置，用于驱动所述顶针升降；所述力调节装置与所述驱动装置连接。

6.如权利要求5所述的顶针升降装置，所述驱动装置包括：

气缸；

升针气路，向所述气缸供气以驱动所述顶针升起；和

降针气路，向所述气缸供气以驱动所述顶针下降；

所述力调节装置包括调压阀，所述调压阀连接在所述升针气路上，用于调节所述气缸的进气压力。

7.如权利要求4所述的顶针升降装置，所述位置检测装置包括第一检测部件和第二检测部件；二者的其中一个固定于顶针支撑架，另一个固定于静电卡盘，当顶针升至预定高度时，二者的其中一个接收到另一个发射或反射的信号。

8.如权利要求7所述的顶针升降装置，所述第一检测部件为激光发射器，所述第二检测部件为激光接收器；或者，所述第一检测部件为激光收发器，所述第二检测部件为激光反射器。

9.一种半导体加工设备，包括权利要求4至8任一项所述的顶针升降装置。