[发明专利]膜框架、显示基板制造系统和显示基板制造方法

说明书

本公开提供了一种膜框架、用于制造显示基板的系统以及制造显示基板的方法，该膜框架包括：一对框架边缘，在第一方向上纵向地延伸并彼此相对地布置；固定端夹具，连接到所述一对框架边缘并在垂直于第一方向的第二方向上纵向地延伸；以及在所述一对框架边缘之间的自由端夹具，该自由端夹具在第二方向上纵向地延伸并配置为与所述一对框架边缘可拆卸地联接，其中固定端夹具包括在第二方向上纵向地延伸的第一磁性固定器以及在第一磁性固定器上的第二磁性固定器，自由端夹具包括在第二方向上纵向地延伸的第三磁性固定器和在第三磁性固定器上的第四磁性固定器。

技术领域

实施方式涉及一种膜框架以及用于制造显示基板的方法和系统。

背景技术

压印技术是用于制造半导体器件的光刻技术中的一种。根据压印技术，不平坦图案可以通过使用模具(例如压印膜)作为原板形成在基板(诸如硅基板或玻璃基板)上，精细的不平坦图案形成在该模具处。

发明内容

实施方式可以通过提供一种配置为装载有压印膜的膜框架来实现，该膜框架包括：一对框架边缘，在第一方向上纵向地延伸并彼此相对地布置；固定端夹具(fixed endclamp)，连接到所述一对框架边缘并在垂直于第一方向的第二方向上纵向地延伸；以及在所述一对框架边缘之间的自由端夹具(free end clamp)，该自由端夹具在第二方向上纵向地延伸并配置为与所述一对框架边缘可拆卸地联接，其中该固定端夹具包括在第二方向上纵向地延伸的第一磁性固定器以及在第一磁性固定器上的第二磁性固定器，并且自由端夹具包括在第二方向上纵向地延伸的第三磁性固定器和在第三磁性固定器上的第四磁性固定器。

实施方式可以通过提供一种用于制造显示基板的系统来实现，该系统包括：膜装载平台；膜框架，配置为在膜装载平台处装载有压印膜；压印平台，配置为通过使用压印膜在显示基板上执行压印工艺；以及传送器，配置为在膜装载平台与压印平台之间移动膜框架，其中膜装载平台包括具有至少两对相对边缘的平坦的膜装载卡盘；以及与第一边缘相邻的粘合辊和模具，该第一边缘是膜装载卡盘的所述至少两对相对边缘中的一对。

实施方式可以通过提供一种制造显示基板的方法来实现，该方法包括：提供膜框架到膜装载平台；提供压印膜到膜装载平台；使压印膜与膜框架对准；将压印膜固定到膜框架；以及将压印膜压印在显示基板上，其中提供压印膜包括通过使用弹力从压印膜分离保护膜。

附图说明

通过参照附图详细描述示范性实施方式，各特征对于本领域普通技术人员来说将是显然的，附图中：

图1示出根据一些实施方式的用于制造显示基板的系统的方框图；

图2示出根据一些实施方式的膜装载平台的平面图；

图3A和图3B示出沿着图2的线I-I'截取的截面图；

图3C示出用于描述根据一些实施方式的保护膜分离的曲线图；

图4示出沿着图2的线II-II'截取的截面图；

图5A示出根据一些实施方式的膜框架的分解透视图；

图5B示出根据一些实施方式的膜框架的透视图；

图5C示出沿着图5B的线III-III'截取的截面图；

图6A至图6C示出根据一些实施方式的膜框架的透视图；

图7A至图7C示出根据一些实施方式的膜框架的截面图；

图8A和图8B示出根据一些实施方式的压印阶段的平面图；以及

图9示出根据一些实施方式的制造显示基板的方法的流程图。

具体实施方式

图1示出根据一些实施方式的用于制造显示基板的系统1000的方框图。