[发明专利]一种TiAlSiN涂层刀具制备工艺

权利要求书

1.一种TiAlSiN涂层刀具制备工艺，其特征在于，该工艺为:选用TiAlSi合金靶作为靶材，使用多弧离子镀方法，与氮气发生反应在YG8硬质合金刀具表面沉积TiAlSiN涂层；包括如下步骤:

(1)将YG8硬质合金刀具基体材料依次在粗、细氮化硼进行打磨至没有划痕，然后在抛光布上进行抛光；

(2)将抛光后的YG8硬质合金刀具分别依次置于丙酮、去离子水、无水乙醇中超声清洗；

(3)将清洗后的YG8硬质合金刀具放入真空室中，抽真空至5× 10^-3pa，然后将腔体加热至150℃，再抽真空至5× 10^-3pa；

(4)通入氩气，气体流量为150-200sccm，设置真空度为1.5-2pa,开公转，对基体施加-1200V，占空比为60％的脉冲偏压，保持15-20min；

(5)通入氩气和高纯氮气，真空度为0.8-1.6pa,开启TiAlSi多弧靶，施加脉冲偏压，在YG8硬质合金刀具表面制得TiAlSiN涂层；

(6)冷却至室温出炉；

步骤(5)中，工件自转速度为15r/min，工转速度为5r/min，氩气流量为60sccm，高纯氮气流量为85ccm，弧电流为90A，脉冲偏压为-250V,占空比为50％，沉积时间为60min；

靶材TiAlSi的at％比值为45:45:10。

2.如权利要求1所述的TiAlSiN涂层刀具制备工艺，其特征在于，步骤(2)中，清洗时间为15-20min。