[发明专利]一种隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜及制备方法在审
| 申请号： | 201810785983.2 | 申请日： | 2018-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN109023272A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 余兴亮 | 申请（专利权）人： | 海安浩驰科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/20;C23C14/10;C08J7/06;C08J5/18;C08L67/02 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 南霆 |
| 地址： | 226600 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单层 汽车贴膜 隔热 薄膜 多层复合薄膜 多层薄膜 防紫外线 制备 可见光透过率 紫外线反射率 磁控溅射法 隔热贴膜 厚度计算 交替叠加 交替周期 结构通式 市场开发 交替层 正整数 式中 雾度 汽车 | ||
1.一种隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜，其特征在于，包括二氧化硅薄膜材料和单质铝薄膜材料，二者通过交替叠加形成类超晶格结构。
2.根据权利要求1所述的隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜，其特征在于，所述Al/SiO2多层复合薄膜材料的结构通式为[Al(a)nm/SiO2(b)nm]x，式中a、b分别表示所述的单层Al薄膜和单层SiO2薄膜的厚度，10≤a≤40nm，60≤b≤90nm，x表示单层SiO2和单层Sb薄膜的交替周期数或者交替层数，并且x为任一正整数。
3.根据权利要求1或2所述的隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜的制备方法，其特征在于，其通过磁控溅射法将SiO2薄膜材料和单质Al薄膜材料进行纳米量级复合，形成具有多层结构的纳米复合薄膜材料。
4.根据权利要求3所述的隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜的制备方法，其特征在于，所述磁控溅射法采用的衬底为PET材料；溅射靶材为SiO2和Al；溅射气体为氩气。
5.根据权利要求4所述的隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜的制备方法，其特征在于，所述溅射靶材为纯度达到99.999％的SiO2和原子百分比纯度达到99.999％的Al；所述溅射气体为体积百分比纯度达到99.999％的氩气。
6.根据权利要求3所述的隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜的制备方法，其特征在于，所述磁控溅射法的本底真空度不大于5×10-4Pa；溅射功率为190-210W；氩气气体流量为55～65SCCM，溅射气压为0.55～0.65Pa。
7.根据权利要求6所述的隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜的制备方法，其特征在于，所述磁控溅射法的溅射功率为200W；氩气气体流量为60sccm；溅射气压为0.50Pa。
8.根据权利要求3所述的隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜的制备方法，其特征在于，
所述磁控溅射法具体包括如下步骤：
1)清洗PET衬底；
2)装好溅射靶材；设定溅射功率、溅射氩气流量及溅射气压；
3)采用射频溅射程序制备Al/SiO2多层复合薄膜材料。
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